無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀(jì)80、90年代）一般無塵室，其風(fēng)速均取在0。

    無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室控管項目：

   1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

   ⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

   ⒊ 溫度和濕度之控制。

   ⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。

   ⒌ 有害氣體之排除。

   ⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

   ⒎ 靜電之防制。

   ⒏ 電磁干擾預(yù)防。

   ⒐ 安全因素之考慮。

   ⒑ 節(jié)能之考量。

   ⒒照度的的調(diào)節(jié)

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。

    清潔室內(nèi)用品除了進(jìn)出潔凈室用的潔凈衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不燃、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質(zhì)，另外經(jīng)過摩擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙（或無纖紙）制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連接上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則：不攜入在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：作業(yè)員進(jìn)入無塵室前，機(jī)臺、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。