金剛石線切割

在國(guó)際上，游離磨料線鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位，但是這種技術(shù)存在明顯的不足： 線鋸走絲速度低，通常≤10m/S，切割效率低, 鋸絲使用壽命短。切割大尺寸坯料時(shí)磨料難以進(jìn)入到長(zhǎng)而深的切縫，磨漿的處理和回收成本較高。因此，近來出現(xiàn)金剛石線切割代替游離磨料線鋸的發(fā)展趨勢(shì)。進(jìn)給速度過快的調(diào)整：當(dāng)切割過程中金剛石線很快出現(xiàn)弧度，說明所選用的切割速度過快，因此要進(jìn)行適當(dāng)減小，切割過程中繼續(xù)觀察，直到調(diào)整到適于切割的速度為止，這樣可盡可能降低設(shè)備和金剛石線的損耗程度，提高切割速率。

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?電火花線切割

電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電，其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中，靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。將工件接入脈沖電源正極，采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲，將金屬絲接高頻脈沖電源負(fù)極作為工具電極，利用火花放電對(duì)加工零件進(jìn)行切割。脈沖電源提供加工能量，加工過程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑，切割過程中若工件材料過厚時(shí)，工作液較難進(jìn)入和充滿放電間隙，會(huì)對(duì)加工精度和表面粗糙度造成影響。目前人們研究和應(yīng)用較多的是截面為圓形的單根鋼絲的金剛石長(zhǎng)切割線和環(huán)形電鍍金剛石切割線。

而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問題，其加工精度和粗糙度都大幅提升

高速線切割設(shè)備

樹脂金剛石線的特點(diǎn)：

高強(qiáng)度樹脂及金剛石相結(jié)合帶來的強(qiáng)的切割能力，線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質(zhì)量及切割表現(xiàn)，高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。但樹脂金剛石線的工藝復(fù)雜，目前主要依靠進(jìn)口，其成本較高，因此還得不到廣泛的應(yīng)用。

線切割設(shè)備多采用電鍍金剛石線，國(guó)內(nèi)的線切割設(shè)備生產(chǎn)廠家眾多，生產(chǎn)能力強(qiáng)，已經(jīng)可以滿足各領(lǐng)域的切割需求

?線切割設(shè)備

線切割設(shè)備的速度調(diào)整：

切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時(shí)，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對(duì)較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會(huì)有明顯的切割線痕跡，因此當(dāng)要求切斷試樣同時(shí)還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時(shí)一般選用較慢的切割速度。缺點(diǎn)是鋸絲的有效工作強(qiáng)度受限制，鋸絲利用率不高，切割速度較低（一般2—3m/s）。