特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。包裝標志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無　水，管路、閥門和容器不用時應密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，環(huán)氧乙1烷可殺滅細1菌（及其內孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術，以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。

 電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術，以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。

  工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展，其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。