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發(fā)布時(shí)間:2021-06-22 06:28  
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曝光顯影:在印刷、影印、復(fù)印、曬圖等行業(yè)中,讓影像顯現(xiàn)的一個(gè)過程。通常指在復(fù)印機(jī)、打印機(jī)中顯影就是用帶電的色粉使感光鼓上的靜電潛像轉(zhuǎn)變成可見的色粉圖像的過程。
常見的顯影方法是旋轉(zhuǎn)、噴霧、浸潤,然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。顯非曝光區(qū)的光刻膠由于在曝光時(shí)并未發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在顯影時(shí)也就不會(huì)存在這樣的酸堿中和。
曝光顯影小尺寸之顯像分辨率,更在 IC 制程的進(jìn)步上,扮演著 關(guān)鍵的角色。由于光學(xué)上的需要,此段制程之照明采用偏黃色的可見光。因此俗稱此區(qū)為 黃光區(qū)。