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廣州潽拓光電——

德國 Pfeiffer Vacuum 普發(fā)真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

設計/工作原理

普發(fā)真空于 1958 年由 W. Becker 博士開發(fā)渦輪分子泵并獲 得專利。渦輪分子泵屬于動能

真空泵的范疇。它們的設計類 似于渦輪機的設計。多級、具有葉盤的渦輪狀轉子在殼體內 旋

轉。渦輪機或壓縮機的葉片被統(tǒng)稱為葉片裝置。轉子盤之 間插入的倒置鏡是具有類似幾何

形狀的葉片定子盤。

軸承

通過兩個球軸承安裝渦輪分子泵轉子軸需要將兩個球軸承都 安排在前真空側，因為軸承中

有潤滑劑。這導致轉子憑借其 較大質量產生的單邊（懸臂）支撐

電動機/驅動器

能夠提供旋轉頻率高達 1,500 Hz (90,000 rpm) 的無刷直流電 動機用于驅動轉子。這使得葉

片速度是泵送氣體所必需的。

如今，驅動器通常都是直接連接到泵上。電源是 24、48 或 72 伏的直流電，通過外部電源

包或集成在泵的電子單元中的 電源包產生電流

廣州潽拓光電——INFICON皮拉尼電容式膜片真空計PCG550 3PC1-001-0000

INFICON皮拉尼電容式膜片真空計(PCG55x)集INFICON皮拉尼技術和陶瓷電容式膜片傳感器的優(yōu)勢于一體。

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益處在10毫巴以上壓力下不受氣體類型限制–能夠安全排放任何氣體混合物在大氣壓力下具有高度的準確性和再現(xiàn)性–能夠進行可靠的大氣壓力檢測快速大氣檢測功能–能夠消除等待時間并縮短過程周期靈活的安裝方向–提供自由的工具設計可配備鎢絲(PCG550)、鎳絲(PCG552)或全陶瓷涂層(PCG554)傳感器裝置用于高腐蝕性應用易于更換的即插即用式傳感器元件與板載校準數(shù)據(jù)–確保高度再現(xiàn)性和低擁有成本便于集成的可選輸出信號可選大氣開關、顯示屏和數(shù)字接口典型應用加載互鎖控制前級真空壓力測量真空系統(tǒng)中的安全電路中真空和低真空范圍內的一般真空測量和控制

廣州潽拓光電——Bayard-Alpert/Pirani技術

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