電子束操作及注意事項(xiàng)

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務(wù)必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動(dòng)真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6A，預(yù)熱時(shí)間新陰極5分鐘以上（應(yīng)緩慢調(diào)至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發(fā)前對材料先預(yù)熱除氣。?

⑤蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板→關(guān)閉高壓→燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6A的位置→關(guān)閉束流調(diào)節(jié)電源并調(diào)至低位置→關(guān)閉磁場電源，工作時(shí)操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣

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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，以下信息由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供。

1、樣品臺：水冷樣品座，樣品座高度可調(diào)，便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍：樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.

2、電子槍：電子槍功率6kW可調(diào)（滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā)）4穴水冷坩堝（適用于對多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好）。以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供，今天我們來分享電子束產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性，配制高品質(zhì)束流掃描控制器，具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式，方便于操作、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應(yīng)不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復(fù)性.

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時(shí)，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強(qiáng)下進(jìn)行蒸鍍，實(shí)際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標(biāo)準(zhǔn)電控柜，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機(jī)械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計(jì)等。柜底下配腳輪，方便移動(dòng)、定位。

3、手動(dòng)按鈕式操作，備留機(jī)電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實(shí)驗(yàn)記錄.

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