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光刻膠 FUTURREX廠家價(jià)格合理,賽米萊德

發(fā)布時(shí)間:2020-12-29 07:55  

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光刻膠的重要性

在北京化工大學(xué)理學(xué)院院長(zhǎng)聶俊眼里,我國(guó)雖然已成為世界半導(dǎo)體生產(chǎn)大國(guó),但面板產(chǎn)業(yè)整體產(chǎn)業(yè)鏈仍較為落后。隨著LCD出貨面積的持續(xù)增長(zhǎng),中國(guó)產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)預(yù)測(cè),未來(lái)幾年全球LCD光刻膠的需求量增長(zhǎng)速度為4%~6%。目前,上游電子化學(xué)品(LCD用光刻膠)幾乎全部依賴進(jìn)口,必須加快面板產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心材料基礎(chǔ)研究與產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,才能支撐我國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)未來(lái)發(fā)展及國(guó)際“地位”的確立。

“假如我們把光刻機(jī)比作一把菜刀,那么光刻膠就好比是要切割的菜,沒有高質(zhì)量的菜,即使有了鋒利的菜刀,也無(wú)法做出一道佳肴?!比涨?,江蘇博硯電子科技有限公司技術(shù)部章宇軒在接受科技日?qǐng)?bào)記者采訪時(shí)說(shuō)。


NR77-25000P光刻膠 FUTURREX廠家

表征光刻膠特性和性能、質(zhì)量的參數(shù)有以下三個(gè):
(1)光學(xué)性質(zhì)。光刻膠的光學(xué)性質(zhì)包括光敏度和折射率。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長(zhǎng)由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。
(2)力學(xué)特性和化學(xué)特性。光刻膠的力學(xué)特性和化學(xué)特性包括膠的固溶度、黏滯度、黏著度、抗蝕(刻蝕、腐蝕)性、熱穩(wěn)定性、流動(dòng)性和對(duì)環(huán)境氣氛(如氧氣)的敏感度。
(3)其他特性。光刻膠的其他特性包括膠的純度、膠內(nèi)的金屬含量、膠的可應(yīng)用范圍、膠的儲(chǔ)存有效期和膠的燃點(diǎn)。


光刻膠

光刻膠組分及功能

光引發(fā)劑

光引發(fā)劑吸收光能(輻射能)后經(jīng)激發(fā)生成活性中間體,并進(jìn)一步引發(fā)聚合反應(yīng)或其他化學(xué)反應(yīng),是光刻膠的關(guān)鍵組分,對(duì)光刻膠的感光度、分辨率等起決定性作用。

樹脂

光刻膠的基本骨架,是其中占比較大的組分,主要決定曝光后光刻膠的基本性能,包括硬度、柔韌性、附著力、曝光前后對(duì)溶劑溶解度的變化程度、光學(xué)性能、耐老化性、耐蝕刻性、熱穩(wěn)定性等。

溶劑

溶解各組分,是后續(xù)聚合反應(yīng)的介質(zhì),另外可調(diào)節(jié)成膜。

單體

含有可聚合官能團(tuán)的小分子,也稱之為活性稀釋劑,一般參加光固化反應(yīng),可降低光固化體系粘度并調(diào)節(jié)光固化材料的各種性能。