焊接聯(lián)接

焊接聯(lián)接的強(qiáng)度和密封性不錯(cuò)，適用于各種管道，省工省料，但拆卸時(shí)必須切斷管子和管子聯(lián)接件。　氣體管道安裝要求

實(shí)驗(yàn)室的氣體供應(yīng)不同于一般工廠的要求，首先表現(xiàn)在儀器設(shè)備對(duì)氣體的純度要求較高，一般工作氣體要求達(dá)到99.999%以上，其次氣體的供應(yīng)必須連續(xù)，輸出壓力平穩(wěn)，氣體的壓力波動(dòng)可能導(dǎo)致儀器設(shè)備無(wú)法正常工作，氣體的不連續(xù)供應(yīng)甚至可能導(dǎo)致儀器設(shè)備故障，因此實(shí)驗(yàn)室氣體管路的設(shè)計(jì)必須非常嚴(yán)格。（6）管道敷設(shè)要求①輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應(yīng)有不小于0。

1、 所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管SS-316L組成。銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方（比如通風(fēng)柜）。

2、 所有的管路、閥門，壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼構(gòu)成，并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件。

3、 根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的用氣量，計(jì)算供氣壓力，流量和管道的內(nèi)徑，所有氣體主管道原則不低于9.52mm,管路末端,原則上直徑不低于6.35mm。

4、 所有管路在天花板下面布設(shè)，并通過(guò)功能柱到中央臺(tái)，邊臺(tái)的氣體管路隱藏在實(shí)驗(yàn)工作臺(tái)后面服務(wù)通道內(nèi)。

5、 易i燃?xì)怏w（如乙i炔、氫氣等）需要和其它氣體分開(kāi)，單獨(dú)引入。

6、 所有管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)，才可以使用壓力配件。

7、 每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的閥門、減壓閥門、壓力表。此外，對(duì)于供應(yīng)多臺(tái)分析儀器的氣體管路，另外還需氣體壓力控制指示裝置。

8、 引到工作臺(tái)的氣體管路將安裝單獨(dú)的球閥或針閥來(lái)控制。

9、 氣相色譜工作臺(tái)上均勻的排放各種氣體的出口龍頭，管徑為3.18mm，在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

10、工作臺(tái)上氣體出口由單獨(dú)的閥門來(lái)控制。

11、所有氣體出口為不銹鋼閥門。

12、氣體管路每隔1.5米的距離,都要有明確標(biāo)示,同時(shí)指示氣體的流向.

13、氣體管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。

14、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。

各種氣體配管配件要求

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對(duì)氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量、露i點(diǎn)的要求也越來(lái)越高。

高純氮?dú)?PN2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氮?dú)?N2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。

高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(Ar)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

氦氣(He)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

特氣系統(tǒng)：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理，內(nèi)管電解拋光(EP)，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

對(duì)于特殊氣體來(lái)講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來(lái)是一機(jī)臺(tái)配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內(nèi)，存在著泄漏的安全隱患?，F(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng)，氣柜集中，自控系統(tǒng)不斷完善，其報(bào)警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對(duì)房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。對(duì)日用氣量不超過(guò)一瓶的氣體，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)可放置一個(gè)該種氣體的氣瓶，但氣瓶應(yīng)有安全防護(hù)設(shè)施。

實(shí)驗(yàn)室氣路改造設(shè)計(jì)有那些要求？

　　1、為了便于氣瓶的更換，氣瓶連接器和調(diào)節(jié)閥之間應(yīng)設(shè)置耐高壓金屬軟管。

　　2.為了防止整個(gè)系統(tǒng)回火，應(yīng)安裝防爆止回閥。

　　3.氣體在進(jìn)入使用點(diǎn)之前，為了便于控制氣體開(kāi)關(guān)，應(yīng)提供一個(gè)使用點(diǎn)球閥。

　　4.為了保持氣體的純度和管道系統(tǒng)的氣密性，所有管道均為316L不銹鋼管道，內(nèi)表面經(jīng)AP處理。

　　5.為了便于閥門部件的維護(hù)和更換，管道與閥門部件之間的連接應(yīng)采用高壓雙卡套接頭連接。

　　6.管道固定部件(管夾)應(yīng)由耐高溫金屬材料制成，并應(yīng)牢固、輕便和耐用。

　　7.考慮到堅(jiān)固、耐腐蝕、使用方便、外形美觀等原因，調(diào)壓閥的控制面板采用不銹鋼制成。

　　8.為了保證氣體輸出壓力的穩(wěn)定性和氣體的純度，選擇了二級(jí)減壓系統(tǒng)(即采用一級(jí)減壓系統(tǒng)和二級(jí)減壓系統(tǒng)，二級(jí)減壓設(shè)備系統(tǒng)自帶)。

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)

　?。?）通過(guò)氣瓶和輸送管道將載氣輸送給儀器，在氣瓶出口裝有單向閥，可避免更換氣瓶時(shí)有空氣和水分混入，另外在一端安裝泄壓開(kāi)關(guān)球閥，將多余的空氣和水分排放后再接入儀器管道，保證儀器用氣的純度。

　　（2）集中供氣系統(tǒng)采用二級(jí)減壓保證壓力的穩(wěn)定，采用二級(jí)減壓的方式，一是，經(jīng)過(guò)第i一級(jí)減壓后，干路壓力比氣瓶壓力大大降低，起到了緩沖管道壓力的作用，提高了用氣的安全，降低了應(yīng)用的風(fēng)險(xiǎn)，二是保證儀器供氣入口壓力的穩(wěn)定，降低了因?yàn)闅怏w壓力波動(dòng)而引起的測(cè)量誤差，保證了儀器使用的穩(wěn)定性。（5）空瓶與實(shí)瓶分區(qū)放置，氣瓶室易i燃易i爆氣瓶應(yīng)該與助燃?xì)馄扛綦x。

　?。?）由于實(shí)驗(yàn)室有些儀器需要使用易i燃?xì)怏w，如甲i烷，乙i炔，氫氣，做這易i燃?xì)怏w的管路時(shí)，應(yīng)注意管路盡量短，減少中間接頭的連接，同時(shí)，氣瓶一定裝入防爆氣瓶柜內(nèi)，氣瓶輸出端接回火器，可阻止火焰回流氣瓶引起的爆i炸，防爆氣瓶柜頂端應(yīng)有連接到室外的通風(fēng)排氣口，且有泄漏報(bào)警裝置，一旦泄漏能及時(shí)報(bào)警并將氣體排到室外。即使是干燥的氯i化氫和氯i氣，高濃度時(shí)也不能儲(chǔ)存在鋁合金氣瓶中。