氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時(shí)會(huì)自動(dòng)上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時(shí)噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對(duì)檢漏儀的位置），這是因?yàn)樵谙路綍r(shí)有可能被上方漏孔吸入；氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過(guò)規(guī)定值即為有漏。

檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項(xiàng)真空指標(biāo)，如何快速地找到漏點(diǎn)關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營(yíng)成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來(lái)的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達(dá)10-15pa:m3/s。當(dāng)今常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測(cè)技術(shù)以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點(diǎn)的漏率等特點(diǎn)，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術(shù)優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)飛機(jī)機(jī)翼整體油箱滲漏點(diǎn)的快速定位檢測(cè)與修補(bǔ)，保證機(jī)翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。

主要檢測(cè)范圍包括下面一些設(shè)備 部件:凝汽器及相連的負(fù)壓系統(tǒng)，包括凝汽器與汽側(cè)相聯(lián)設(shè)備管道，有二級(jí)旁路、三級(jí)誠(chéng)溫器、疏水?dāng)U容器、低加疏水、軸加疏水、空氣管道、給水泵密封水回水、真空破壞門(mén)、水位計(jì)等;低壓缸部分，包括低壓排汽、末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，次末級(jí)抽汽管道和加熱器部分，低壓缸上方防爆膜及其結(jié)合面法蘭、低壓缸汽封以及接合面等:其他部分，包括真空壓力表頭、排汽缸溫度計(jì)套管、電接點(diǎn)水位計(jì)、疏水泵、凝結(jié)水泵機(jī)械密封等。

氦氣檢漏儀可對(duì)使用過(guò)程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；檢漏儀啟動(dòng)時(shí)間：≤5min。響應(yīng)時(shí)間：≤1s檢漏口的。高壓力：1500Pa。電源要求：220v，50Hz，單相，10A。工作環(huán)境：5-35℃檢漏儀自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。