鈾是固態(tài)，而擴(kuò)散分離需要的是氣體。為此, 得把金屬鈾變成氮化物UF6，UF6在室溫下就會蒸發(fā)。一個不利的因素是，在潮濕氣氛中很容易生成腐蝕性很強(qiáng)的和鈾的氧化物，鈾的氧化物又是危險的材料。這兩種情況在氣體擴(kuò)散分離法中應(yīng)當(dāng)防止。

在曼哈頓計劃中, 的分離是把UF6通過幾公里長的多孔管道的擴(kuò)散后才獲得的。

對整個擴(kuò)散系統(tǒng)的密封性要求之高是的。潮濕空氣不能進(jìn)入工藝容器之中。雅可比博士在當(dāng)時被譽(yù)為曼哈頓計劃中的橡樹嶺擴(kuò)散工廠的總設(shè)計師。為了成功的分離出，他對真空檢漏技術(shù)提出的嚴(yán)格的要求有

（1）新的儀器對空氣和殘余氣體的讀數(shù)是零，僅對示蹤氣體有響應(yīng)。

（2）新的儀器本身也是一個抽速較高的真空系統(tǒng)。

（3）儀表的指示能夠反映出漏孔的大小, 漏量的大小。這三點要求實際上構(gòu)成了研制新型檢漏儀器的準(zhǔn)則。在研制過程中, 對傳統(tǒng)的檢漏方法、光譜儀和皮喇尼規(guī)進(jìn)行了考察。發(fā)現(xiàn)在實際運用中都存在著不少的缺點。當(dāng)時,明尼蘇達(dá)州州立大學(xué)的尼爾博士正在研制一種可以記錄分子量和原子量大小的質(zhì)譜儀。經(jīng)過分析， 雅可比認(rèn)為如果尼爾博士能夠使儀器簡化， 那么質(zhì)譜儀將是一種好的選擇性檢漏裝置。

氦質(zhì)譜檢漏的原理

運用質(zhì)譜原理制成的儀器稱為質(zhì)譜計或質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀通過其部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質(zhì)荷比的離子在場中彼此分開，而相同質(zhì)荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當(dāng)位置安置接收所有這些離子，就會得到按照質(zhì)荷比大小依次分開排列的質(zhì)譜圖，這就是質(zhì)譜。

用于檢漏的質(zhì)譜儀稱為質(zhì)譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質(zhì)譜計，如四極質(zhì)譜計、射頻質(zhì)譜計、飛行時間質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計等都可以用于檢漏。

專門設(shè)計的以氦氣作示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱為氦質(zhì)譜檢漏儀。這種儀器除靈敏度高外，還具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀中用得很多的是90°和180°的磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀。

眾所周知，當(dāng)一個帶電質(zhì)點（正離子）以速度v進(jìn)入均勻磁場的分析器中，如果速度v的方向和磁場H的方向相垂直，則它的運動軌跡為圓，如圖1所示。當(dāng)磁場的磁通密度一定時，不同質(zhì)荷比（m/e）的離子在磁場中都有相應(yīng)的運輸半徑，也就是都有相應(yīng)的圓軌跡，這樣，不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場分析器中運動后就會彼此分開。如果在離大運動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉，而在對應(yīng)的氦離子運動半徑位置的檔板上開一狹縫，狹縫后安置離子接收極，這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流，并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，氦氣便通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中，使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來，達(dá)到了檢漏的目的

氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題：

（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有多工位的檢漏儀。

（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。

（3）被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。

（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。

（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。

（6）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。

（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì)，透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導(dǎo)熱能力超過任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。熱管技術(shù)目前廣泛應(yīng)用于計算機(jī)、各類電器等設(shè)備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀 (VC 單體) 等。

熱管需要檢漏原因：

熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè)，都會采用 氦質(zhì)譜檢漏儀對熱管進(jìn)行檢漏。

熱管檢漏方法：

該企業(yè)熱管出廠前標(biāo)準(zhǔn)漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用 氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，設(shè)定 E-8 為報警值，當(dāng)漏率低于該值時產(chǎn)品是合格的，當(dāng)漏率高于此值，檢漏儀發(fā)出聲光警報，說明產(chǎn)品有漏。