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     EDWARDS EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修

愛德華EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點 站應(yīng)用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能，可實現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的獨特單軸再生 Holweck® 分級機構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，可以遠程安裝。重量43.5KG。

潽拓——愛德華分子泵用途，分子泵

現(xiàn)貨出售愛德華 Edwards nEXT 240分子泵及提供維修保養(yǎng)服務(wù)，歡迎來電咨詢

概述——  nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N2的抽速為240l/s。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。

愛德華Edwards復(fù)合渦輪分子泵Ext75dx24VDC，二手分子泵維修保養(yǎng)

愛德華Edwards復(fù)合渦輪分子泵Ext75dx24VDCEdwards EXT75DX渦輪分子泵

    上軸承為性磁懸浮軸承：無需清潔、振動小、磨損低 配有手動放氣閥（可選配電磁閥，用于全自動放氣）Holweck拖曳分級技術(shù)，實現(xiàn)高吞吐量和高前級壓力差帶有吹掃口，提供制程氣體稀釋，以保護電機和下軸承