真空熱處理幾乎可實現(xiàn)全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻、氮化，在淬火工藝中可實現(xiàn)氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，它與普通熱處理相比較具有以下優(yōu)點。

而真空熱處理由于金屬是在一定的真空度下加熱，工件避免了與氧氣接觸，工件沒有氧化，無脫碳，可以得到光亮的表面及較好的熱處理質(zhì)量，同時在真空狀態(tài)下，也不會發(fā)生還原反應，也就不會發(fā)生增碳現(xiàn)象。從下面工件表面添加保護劑后與真空淬火時的金相圖比較，可較明顯看到真空熱處理的優(yōu)勢所在。

真空熱處理爐是實現(xiàn)真空熱處理的重要設備。爐內(nèi)氣壓低于正常氣壓。爐內(nèi)氣氛相當于一種氣體，可使熱處理工作不氧化。真空處理爐的用途很廣，主要用于結(jié)構(gòu)鋼、不誘鋼、耐熱合金、精密合金以及材料的真空回火，時效、退火、淬火，也可以用于真空除氣，釬焊和燒結(jié)等方面。（真空爐）

因此，選擇真空熱處理爐的需要注意以下幾點因素：

真空爐選擇要根據(jù)所要熱處理的零件化學成分和加熱溫度實現(xiàn)必須滿足金屬氧化物與一氧化tan平衡分解壓的關(guān)系并且要考慮一定的余地不要追求高的真空度真空度過高不僅會造成合金元素的揮發(fā)而且會造成設備的配置提高投資費用增加。

冷卻形式真空爐的冷卻有油冷和氣冷。目前主要以氣冷為主因為氣冷對熱處理零件無任何污染和不良影響油冷有表面微滲碳問題對質(zhì)量有影響處理后零件表面潔凈不需要清洗所以在滿足冷卻速度的條件下一般以氣冷淬火作為優(yōu)先選擇。氣冷的冷卻速度主要受氣壓、流速與氣流的形式和分布等因素的影響在進行選擇時要具體考慮。一般情況氣壓高、流速大、冷卻速度快即冷卻速度是直接受到氣壓和流速的影響。