對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。

航天技術(shù)的不斷發(fā)展， 泄漏問題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計制造中必須考慮的關(guān)鍵因素，越來越多的收到各方關(guān)注，相關(guān)電子元器件漏率檢測已經(jīng)引起科研人員的高度重視，目前應(yīng)用檢漏技術(shù)的主要是為密封繼電器、集成電路 外殼。.利用氫質(zhì)譜檢漏儀可以方便地對密封繼電器作漏率測定。針對不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。目前密封繼電器的漏率檢測主要是GJB360A-96的112實驗程序。

尋求一種合適的檢漏方法，對汽輪機真空系統(tǒng)進行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機組的真空嚴密性及真空已成為改善機組運行狀況、節(jié)能降耗以及機組安全運行的一項重要工作。 氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是一種 應(yīng)用于國內(nèi)外對真空容器檢漏的先進技術(shù)，氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)的高靈敏度和無損性早已成功地應(yīng)用于航天、電子、制冷等領(lǐng)域。應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)對火電廠汽輪機真空系統(tǒng)進行檢漏的方法，近幾年已在電力生產(chǎn)中逐漸推廣應(yīng)用。