PVD真空鍍膜設(shè)備蒸發(fā)系統(tǒng)工作方式

PVD真空鍍膜設(shè)備蒸發(fā)系統(tǒng)主要指成膜裝置部分，PVD鍍膜機(jī)的成膜裝置很多的，PVD鍍膜有電阻加熱、射頻濺射、離子鍍等多種方式。PVD鍍膜電阻蒸發(fā)根據(jù)其結(jié)構(gòu)和工作原理是目前為止應(yīng)用多的，PVD鍍膜廣泛的蒸發(fā)方式，PVD鍍膜也是應(yīng)用時(shí)間長(zhǎng)的蒸發(fā)方式。

下面介紹PVD鍍膜電阻加熱和電子槍蒸發(fā)的方式：

PVD鍍膜將鎢片做成船狀，然后安裝在兩個(gè)電極中間，再熱傳導(dǎo)給PVD鍍膜材料，當(dāng)鎢舟的熱量高于PVD鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候，材料就升華或者蒸發(fā)了，PVD鍍膜由于操作方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。PVD鍍膜電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用多的一種蒸發(fā)方式，PVD鍍膜可以蒸發(fā)任何一種PVD鍍膜料。

將鍍膜材料放在坩堝里面，PVD鍍膜將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，PVD鍍膜由于燈絲的材料是鎢，形成了一股電子束，PVD鍍膜由于電子束溫度非常高，PVD鍍膜可以熔化任何鍍膜藥材凝結(jié)下來(lái)。

至成真空十多年來(lái)專業(yè)從事各種真空鍍膜應(yīng)用設(shè)備制造，多年來(lái)致力于研發(fā)和生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)，以新技術(shù)不斷制造出滿足市場(chǎng)需要的真空電鍍?cè)O(shè)備，為客戶提供定制化的工藝解決方案和機(jī)器。

真空鍍膜機(jī)磁控濺射主要工藝流程：

1、基片清洗，主要是用蒸汽清洗，隨后用乙醇浸泡基片后快速烘干，以去除表面油污；

2、抽真空，真空須控制在2×104Pa以上，以保證薄膜的純度；

3、加熱，為了除去基片表面水分，提高膜與基片的結(jié)合力，需要對(duì)基片進(jìn)行加熱，溫度一般選擇在150℃~200℃之間；

4、Ar氣分壓，一般選擇在0.01~1Pa范圍內(nèi)，以滿足輝光放電的氣壓條件；

5、預(yù)濺射，預(yù)濺射是通過(guò)離子轟擊以除去靶材表面氧化膜，以免影響薄膜質(zhì)量；

6、濺射，Ar氣電離后形成的正離子在正交的磁場(chǎng)和電場(chǎng)的作用下，高速轟擊靶材，使濺射出的靶材粒子到達(dá)基片表面沉積成膜；

7、退火，薄膜與基片的熱膨脹系數(shù)有差異，結(jié)合力小，退火時(shí)薄膜與基片原子相互擴(kuò)散可以有效提高粘著力。

真空鍍膜機(jī)磁控濺射鍍膜的特點(diǎn)：薄膜純度高，致密，厚度均勻可控制，工藝重復(fù)性比較好，附著力強(qiáng)。

依據(jù)濺射源的不同，真空鍍膜機(jī)磁控濺射有直流和射頻之分，兩者的主要區(qū)別在于氣體放電方式不同，真空鍍膜機(jī)射頻磁控濺射利用的是射頻放電，陶瓷產(chǎn)品使用的是射頻磁控濺射鍍。

PACVD硬質(zhì)涂層真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)的特點(diǎn)：

（1）2個(gè)等離子激發(fā)源（射頻，直/直流脈沖）（2）安裝在兩邊的2閉合場(chǎng)非平衡磁控管濺射（3）帶有一個(gè)前門(mén)的六角形真空室，保證一個(gè)潔凈的環(huán)境（4）干式真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝在一個(gè)單獨(dú)的空間，處理高吞吐量的碳?xì)浠衔锖推渌に嚉怏w（5）基材和導(dǎo)電與非導(dǎo)電涂層及組合原位清洗的離子激發(fā)系統(tǒng)（6）可選擇的等離子體激發(fā)模式和頻率使等離子的密度和能量適應(yīng)基材增壓特性，以小壓強(qiáng)進(jìn)行電離作用（8）單獨(dú)的PACVD工藝中不強(qiáng)制轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候，一種行星式轉(zhuǎn)動(dòng)也能夠使濺射涂層統(tǒng)一沉積（9）特別是在PACVD過(guò)程特殊設(shè)計(jì)的進(jìn)氣系統(tǒng)能夠優(yōu)化涂層的均勻性和清潔度（10）泵的選擇編排和上下的蒸汽壓力調(diào)節(jié)，保證了涂層系統(tǒng)的高可靠性（11）iFIX基礎(chǔ)的控制系統(tǒng)，易于批次、配方和報(bào)警處理（12）所有數(shù)據(jù)的采集，保證良好的過(guò)程控制。工藝過(guò)程中定制曲線圖做到良好檢查方案。在批次運(yùn)行過(guò)程中，操作者也可更改或新建工藝（13）用戶可自行設(shè)置進(jìn)入控制系統(tǒng)的權(quán)限，以保證系統(tǒng)的質(zhì)量和安全性