光波超精密技術(shù)研究院——滾動花崗石氣浮導(dǎo)軌

安置設(shè)備的房間的使用面積要求（盡量滿足）：長度實際需求 5 米；寬度≥4 米；高度 3.5 米。

設(shè)備安置房間應(yīng)遠(yuǎn)離跑道，周圍無震源，墻體不為外墻，周圍建立防帶。具體要求請建筑設(shè)計人員根據(jù)長距離精密計量及校準(zhǔn)防震的通用要求設(shè)計。若該校準(zhǔn)實驗室能建于地下是較為理想的（1、能實現(xiàn)大尺寸校準(zhǔn)實驗室所需要的穩(wěn)定的環(huán)境溫度要求；2、易于實現(xiàn)大尺寸精密校準(zhǔn)所需要的每小時溫度的變化量要求；3、能節(jié)約能源等）。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——滾動花崗石氣浮導(dǎo)軌

氣源要求

供氣壓力： >0.7 MPa

耗氣量： 1.5M3/min

氣源的出口溫度：20±4 ℃

推薦：使用空壓機 冷凍干燥機 二級過濾。

溫度要求

溫度要求： 20℃±2℃ (精度校驗應(yīng)滿足 20℃±1℃)

溫度時間梯度：≤0.8℃/小時&≤1℃/24 小時  

溫度空間梯度: ≤0.6℃/m

注意:不應(yīng)受到太陽照射，不應(yīng)靠近暖氣，不應(yīng)靠近進出通道。溫度將會直接影響測量精度及穩(wěn)定性。

濕度要求：

空氣相對濕度： 40%-70%

推薦：現(xiàn)場請至少配備一個高靈敏度干濕溫度計。

注意：過高濕度會導(dǎo)致機器表面、電機凝結(jié)水份，增大測量設(shè)備故障概率降低使用壽命?？照{(diào)的進回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)繞開精密導(dǎo)軌的主校準(zhǔn)測量區(qū)域。

光波超精密——滾動花崗石氣浮導(dǎo)軌

滾動導(dǎo)軌是直線導(dǎo)軌的一種。滾動直線滑軌是一種滾動導(dǎo)引，它由在滑塊與滑軌之間作無限滾動循環(huán)，使得負(fù)載平臺能沿著滑軌輕易的以高精度作線性運動，其摩擦系數(shù)可降至傳統(tǒng)滑動導(dǎo)引的1/50，使之能輕易地達到μm級的定位精度。

滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點

1、靈敏度高，且其動摩擦與靜摩擦系數(shù)相差甚微，因而運動平穩(wěn)，低速移動時不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。

2、定位精度高，重復(fù)定位精度可達0.2μm。

3、摩擦阻力小，移動輕便，磨損小、精度保持性好。

滾動導(dǎo)軌特別適用于機床的工作部件要求移動均勻、運動靈敏及定位精度高的場合。

氣浮導(dǎo)軌組成部分

(1)導(dǎo)軌座和溜板；

(2)節(jié)流器，如小孔節(jié)流器、毛細(xì)管節(jié)流器、、薄膜反饋節(jié)流器等；

(3)供氣系統(tǒng)及調(diào)節(jié)裝置。

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。