真空泵維修中應(yīng)注意的幾個(gè)要點(diǎn)

總裝配。零部件和各真空室分別裝好后,要試使其轉(zhuǎn)動(dòng)一下,要保證其無阻滯絞絆現(xiàn)象。待上面的前端蓋裝好后,即可從上向下穿入拉緊螺栓,拉緊后即可將機(jī)座放平。調(diào)整各真空室的進(jìn)氣管,使其在同一平面上,然后把拉緊螺栓擰緊,并試轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿,其轉(zhuǎn)力矩應(yīng)小于100公斤,且無嚴(yán)重的局部阻滯感。后裝好排氣閥門、單向閥等。這時(shí)可轉(zhuǎn)動(dòng)鏈輪。這樣各機(jī)座就已裝配完畢。 后按前述拆泵時(shí)相反次序裝配箱體部分。注意保證密封處不準(zhǔn)漏氣，油密封室亦不準(zhǔn)漏油。

在泵浦試運(yùn)轉(zhuǎn)之前，放入真空泵油至視油鏡的中心位置，然后進(jìn)行試抽，觀察泵浦的使用效果。

螺桿真空泵是一種干式運(yùn)行，無接觸，螺桿型真空泵它的優(yōu)點(diǎn)：

（1）工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空。?

(2)?工作腔及螺桿表面有防腐蝕鍍層，可適應(yīng)惡劣工況。

(3)?工作腔干式運(yùn)行，適合抽除含有粉塵的氣體和可凝性的氣體。?

(4)?單臺(tái)泵可連續(xù)直排大氣，從大氣抽至5Pa以下，真空系統(tǒng)可大大簡化。

(5)?旋轉(zhuǎn)部件之間無摩擦，因而壽命長；?

雙級(jí)真空泵，屬于真空泵技術(shù)領(lǐng)域。由兩臺(tái)包括泵體及泵體上設(shè)置的吸氣口、排氣口，泵體內(nèi)安裝的帶葉片槽和葉片的轉(zhuǎn)子構(gòu)成的真空泵串聯(lián)連接，真空泵轉(zhuǎn)子上的葉片槽為偏離轉(zhuǎn)子軸心線的斜葉片槽，后級(jí)真空泵的吸氣口連接前級(jí)泵的排氣口。

雙級(jí)羅茨真空泵主要結(jié)構(gòu)及原理:

1、轉(zhuǎn)子:轉(zhuǎn)子為羅茨真空泵的核心部件,設(shè)計(jì)加工要求高,經(jīng)數(shù)控機(jī)床加工而成，每臺(tái)共四個(gè),裝在對(duì)平行的軸上,每根軸上裝配尺寸同,兩個(gè)轉(zhuǎn)子;

2、殼體:根據(jù)定的抽速比例,殼體由中大小不-的兩個(gè)腔,也即高低真空腔;

3、同步齒輪:齒輪為羅茨真空泵的核心部件之一, 它來保證兩轉(zhuǎn)子的同步旋轉(zhuǎn)及保持轉(zhuǎn)子之間的間隙,齒輪表面經(jīng)高頻淬火,然后由特殊的高精度磨削而成;

4、 被抽氣體從吸氣口先進(jìn)入高真空腔,再通過中壁的氣通進(jìn)入低真空腔,zui后經(jīng)排口進(jìn)入下一真空泵。

無油真空泵是一種隔膜真空泵，極限真空壓力大于0.08MPa，抽氣速度達(dá)20L/min，電機(jī)功率160W，無油節(jié)能真空泵，是一款使用，使用壽命長，替代無油節(jié)能真空泵公司，耐腐蝕程度高，設(shè)計(jì)新穎的真空泵。外置與我們的勻膠機(jī)配套使用，能夠提供可靠的真空負(fù)壓環(huán)境，保證基片的吸附牢靠。

另外，如果抽取的氣體對(duì)油有腐蝕性，或者含大量水分等可破壞油的物質(zhì)，那就不能使用有油真空泵。因?yàn)橛杏驼婵毡美锩娴挠鸵话闶怯脕頋櫥兔芊獾?。油被腐蝕或者乳化等，真空泵就沒辦法正常運(yùn)行了。節(jié)能：耗用功率只bai有原臥式泵或水環(huán)du泵的2/3。