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薄膜厚度測量的行業(yè)須知「在線咨詢」

發(fā)布時間:2020-08-06 05:38  

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變化極距式電容傳感器

當動極板受被測物體作用引起位移時,改變了兩極板之間的距離d,從而使電容量發(fā)生變化。

實際使用時,總是使初始極距d0盡量小些,以提高靈敏度,但這也帶來了變極距式電容器的行程較小的缺點。

a)結構示意圖      b)電容量與極板距離的關系

從圖中可以看到,為了提高靈敏度,應使d0小一些為好,但行程變?。▌屿o極板接觸)



工業(yè)制造中需要用到多種設備,非接觸式位移傳感器就是為工業(yè)環(huán)境所設計,適用于重度污染和粉塵大的惡劣環(huán)境,安裝方便。那么非接觸式位移傳感器的工作原理是怎樣的呢?以下是申思測控小編的分享:

非接觸式位移傳感器采用先進的超聲波測量技術,在測量位置精度上可以輸出高精密的線性和信號。非接觸式位移傳感器外殼采用鋁合金一次成型加工,通過與磁鐵滑塊高的精度配合的模式進行非接觸式測量。其優(yōu)勢可以取代電阻式電阻尺,采用非接觸式測量方式在機械方面不用修改參數(shù)即可。接觸式位移傳感器在安裝方面貼合了機械結構的便利性,不但安裝簡易、牢固,在其控制精度方面也高達0.01%FS,可以在直接和的位置檢測反饋。如果這種位移傳感器在伺服系統(tǒng)中用作位移反饋元件,則過大的階躍電壓會引起系統(tǒng)振蕩。







直線位移傳感器也叫電子尺實際上就是一個滑動變阻器,那么直線位移傳感器在使用時應注意哪些事項呢?首先電子尺是作為分壓器使用,以相對電壓來顯示所測量位置的實際位置。因此,就對這個裝置(電子尺)提出了幾點要求:

不能接錯電子尺的三條線,1#、3#線是電源線,2#是輸出線除1#、3#線電源線可以調(diào)換外,2#線只能是輸出線。上述線一旦接錯,將出現(xiàn)線性誤差大,控制精度差,容易顯示跳動等現(xiàn)象。如果出現(xiàn)控制非常困難,就應該懷疑是接錯線。安裝對中性要好,角度容許±12°誤差,平行度偏差容許±0.5mm,是指某一誤差,如果角度誤差和平行度誤差都偏大,就會導致顯示數(shù)字跳動。在這種情況下,一般可以用萬用表的電壓檔測出電壓的波動。一定要作角度和平行度的調(diào)整。當被測物的振動導致與其固連的傳感器基座振動時,質量塊將由于慣性而保持靜止,因此上、下固定電極與質量塊之間將會產(chǎn)生相對位移。請?zhí)貏e注意:在現(xiàn)場將電子尺的鋁合金支架更換成不銹鋼支架后,同時應將拉桿牽引安裝位升高2 Mm。