流量控制器的原理是什么？

質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質量流量。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。

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質量流量計工作原理

質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、穩(wěn)定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有-個電磁調節(jié)閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成-個閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質量流量。熱式質量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC 提供。

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流量控制器

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓,適當調節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。

選擇產(chǎn)品和訂貨時應當注意

注意選擇合適的響應時間指標

有的應用系統(tǒng)對MFC的響應時間有較高的要求，用戶應根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時，還應注意其響應過程及動態(tài)特性。

注意對安裝位置有無要求

有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。

注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用。

訂貨應注明：

產(chǎn)品名稱、型號、流量規(guī)格、標定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。