控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。4分類(lèi)編輯亂流式 (Turbulent Flow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，凈化室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。福州同盛凈化彩鋼板有限公司。

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，車(chē)間凈化室，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

常見(jiàn)的實(shí)驗(yàn)室凈化工程裝修材料有夾心彩鋼板、鋼化玻璃、防火板等，凈化室安裝，潔凈實(shí)驗(yàn)室必須按照《潔凈室施工與驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)》采用可以較好的密封并且不產(chǎn)塵的材料進(jìn)行隔斷、吊頂裝修，潔凈實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)一般采用組合式空調(diào)機(jī)組，其送風(fēng)系統(tǒng)與各業(yè)潔凈室工程不同的地方是，不是所有實(shí)驗(yàn)室都可以設(shè)置回風(fēng)系統(tǒng)的，這需要根據(jù)用戶(hù)實(shí)驗(yàn)室的用途以及實(shí)驗(yàn)產(chǎn)品而定。類(lèi)似于生物安全類(lèi)實(shí)驗(yàn)室就不可以做回風(fēng)系統(tǒng)，或者說(shuō)要以全排式潔凈室的做法來(lái)施工。實(shí)驗(yàn)室凈化工程等級(jí)設(shè)計(jì)也很關(guān)鍵，一般的無(wú)菌室實(shí)驗(yàn)室潔凈度等級(jí)都是萬(wàn)級(jí)，一般普通實(shí)驗(yàn)室則大范圍十萬(wàn)級(jí)~萬(wàn)級(jí)的布局設(shè)計(jì)。生物安全實(shí)驗(yàn)室、陽(yáng)性對(duì)照實(shí)驗(yàn)室以及微生物培養(yǎng)實(shí)驗(yàn)室則需按照靜態(tài)百級(jí)的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)、施工

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