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發(fā)布時(shí)間:2020-11-15 09:28  

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   在機(jī)器人技術(shù)在20世紀(jì)70年代后期,許多美國公司的興趣增加進(jìn)入該領(lǐng)域,包括大公司,如通用電氣和通用汽車公司(這就形成合資 FANUC機(jī)器人與FANUC日本LTD)。美國創(chuàng)業(yè)公司包括Automatix和嫻熟技術(shù),公司在機(jī)器人熱潮在1984年的高度,Unimation收購了西屋電氣公司 107萬美元。西屋出售Unimation以史陶比爾法韋日SCA的法國于1988年,還在進(jìn)行關(guān)節(jié)型機(jī)器人用于一般工業(yè)和潔凈室應(yīng)用,甚至買的機(jī)器人事業(yè)部,博世于2004年底。

  只有少數(shù)的非日本公司管理,終在這個(gè)市場(chǎng)中生存,其中主要的有:嫻熟技術(shù),史陶比爾,Unimation,在瑞典 - 瑞士公司ABB阿西亞·布朗Boveri公司,在德國公司的KUKA機(jī)器人與意大利公司柯馬。[1]




關(guān)鍵技術(shù)包括:

(1)真空機(jī)器人新構(gòu)型設(shè)計(jì)技術(shù):通過結(jié)構(gòu)分析和優(yōu)化設(shè)計(jì),避開國際專利,設(shè)計(jì)新構(gòu)型滿足真空機(jī)器人對(duì)剛度和伸縮比的要求;

(2)大間隙真空直驅(qū)電機(jī)技術(shù):涉及大間隙真空直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)和高潔凈直驅(qū)電機(jī)開展電機(jī)理論分析、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制作工藝、電機(jī)材料表面處理、低速大轉(zhuǎn)矩控制、小型多軸驅(qū)動(dòng)器等方面。

(3)真空環(huán)境下的多軸精密軸系的設(shè)計(jì)。采用軸在軸中的設(shè)計(jì)方法,減小軸之間的不同心以及慣量不對(duì)稱的問題。

(4)動(dòng)態(tài)軌跡修正技術(shù):通過傳感器信息和機(jī)器人運(yùn)動(dòng)信息的融合,檢測(cè)出晶圓與手指之間基準(zhǔn)位置之間的偏移,通過動(dòng)態(tài)修正運(yùn)動(dòng)軌跡,保證機(jī)器人準(zhǔn)確地將晶圓從真空腔室中的一個(gè)工位傳送到另一個(gè)工位。



機(jī)器人開關(guān)經(jīng)常跳或者不能合閘?原因:

1.開關(guān)老化;

2.開關(guān)選型不對(duì);

3.水泵卡死或電機(jī)內(nèi)部短路;

4.線路老化,短路,用線過小或者缺相。

解決辦法:

將控制系統(tǒng)的電源關(guān)掉,然后用繞表量電機(jī),電路的三相是否有短路或接地現(xiàn)象(測(cè)量時(shí)注意:要把變頻輸出端拆下來,以免測(cè)試時(shí)把變頻輸出的模塊燒壞),用手轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)看看是否有卡死,必要時(shí)更換開關(guān)。