氦質譜檢漏儀檢漏方式

1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質譜檢漏儀去檢測，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質譜檢漏儀去檢測容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測出漏點，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負壓，則用真空模式。

氦質譜檢漏儀的特點

氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的質譜儀，這種質譜儀將其它質量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，氦質譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括：

1、主泵：一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa，其抽速應導氣載匹配。

2、前級真空泵：一般采用旋片式機械真空泵，在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速導主泵匹配。

3、預抽真空泵：一般與前級真空泵共用一個泵，也有預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。

4、冷阱：分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。護散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。