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位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊(cè)資金為200萬(wàn)美元，到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)（上海）有限公司 (德國(guó)Pfeiffer中國(guó)華東華南總代理）專業(yè)銷售及維修德國(guó)Pfeiffer單雙級(jí)旋片泵，干泵，羅茨泵，分子泵；應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管)；檢" />
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發(fā)布時(shí)間：2023-02-03 15:12
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氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏
上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對(duì)構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無(wú)油, 滿足無(wú)塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購(gòu)伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.
光刻機(jī)檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
1. 通過(guò)波紋管與光刻機(jī)真空系統(tǒng)連接
2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過(guò)設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會(huì)時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 同時(shí)在屏幕上顯示漏率值.
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù)：
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對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率 |
真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s |
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檢測(cè)模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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氦質(zhì)譜檢漏儀無(wú)油前級(jí)泵抽速 |
1.7 m3/h |
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檢測(cè)氣體 |
4He , 3He, H2 |
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響應(yīng)時(shí)間 |
<1s |
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對(duì)氦氣的抽氣速度 |
1.1 l/s |
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氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)氣法蘭 |
DN 25 ISO-KF |
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進(jìn)氣口**壓力 |
15 hPa |
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通訊接口 |
RS-232 |
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工作溫度 |
10-40 °C |
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噪音水平 |
< 45 dB (A) |
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尺寸 |
350 X 245 X 141 mm |
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重量 |
21 kg (46 lb) |
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