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發(fā)布時(shí)間:2021-01-11 07:35  
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萬(wàn)級(jí)潔凈棚的優(yōu)點(diǎn):
無(wú)塵棚可單獨(dú)使用萬(wàn)級(jí)潔凈棚,也可組合使用萬(wàn)級(jí)潔凈棚。
萬(wàn)級(jí)潔凈棚與土建式或裝配式百級(jí)潔凈室相比,投資少,安裝簡(jiǎn)便,運(yùn)行費(fèi)用低。
萬(wàn)級(jí)潔凈棚模塊化結(jié)構(gòu),提高潔凈度等級(jí)容易,擴(kuò)展性強(qiáng),且重復(fù)利用價(jià)值高。
潔凈棚與潔凈室到底哪個(gè)好得看客戶自己的需求,介紹潔凈棚與潔凈室的區(qū)別,這樣您就會(huì)知道潔凈棚和潔凈室到底那個(gè)更加的適合自己。
什么是潔凈棚(潔凈工作棚) 潔凈棚,又名無(wú)塵潔凈棚/凈化潔凈棚/百級(jí)潔凈棚/千級(jí)潔凈棚/萬(wàn)級(jí)潔凈棚,為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較之潔凈空間,其等級(jí)為100~10000級(jí),內(nèi)部空間高度在2.0米左右,覆蓋面積約50m2以下,四支支柱可加裝活動(dòng)輪,可為彈性運(yùn)用,可配套風(fēng)淋室使用。
潔凈棚的溫濕度控制非常重要,不合宜的溫濕度會(huì)影響潔凈效果。但是溫濕度的控制主要還是根據(jù)工藝要求來(lái)確定的,工藝性高也就代表著潔凈度越高。
濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
潔凈棚的建立對(duì)周?chē)h(huán)境的要求非常嚴(yán)格,
1、對(duì)空氣的溫度,濕度要求比較高,設(shè)計(jì)者要根據(jù)工藝的要求,生產(chǎn)潔凈度級(jí)別合理選用建筑材料,考慮耐火性能,從而達(dá)到潔凈棚設(shè)計(jì)要求。
2 、大多采用于要求高潔凈度、外表美觀,無(wú)塵、無(wú)菌的電子、、血液制品等行業(yè)生產(chǎn)車(chē)間地面。環(huán)氧自流坪地面的使用壽命厚度1mm以上一般可使用6年以上,以上地坪地面墊層下應(yīng)鋪設(shè)防潮層,混凝土分倉(cāng)線不宜通過(guò)潔凈區(qū)。
3、地面應(yīng)用平整,無(wú)縫隙,耐磨,耐腐蝕,不易集聚靜電的,便于清理的整體地面。而且還要去設(shè)計(jì)者在設(shè)計(jì)中可以采用現(xiàn)澆水磨石地面,所用石子直徑應(yīng)在6-15mm之間。其格條必須采用銅條分隔,不得采用玻璃條。
4、要求墻面應(yīng)光滑,平整,不起塵,耐腐蝕,色彩和諧,便于識(shí)別污染物,內(nèi)墻涂料必須采用防霉防靜電和消毒的材料涂刷,墻面與地面相交處宜做半徑50毫米的圓弧,以減少灰塵積聚,和便于清潔。