精密和超精密加工技術(shù)簡介

就先進制造技術(shù)的技術(shù)實質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動化兩大領(lǐng)域。精密加工和超精密加工是先進制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。前者包括了精密加工、超精密加工、微細加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；后者包括了設(shè)計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術(shù)才能達到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達到設(shè)計要求。

電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應(yīng)的技術(shù)要求。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。

制造業(yè)是國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。該方法已應(yīng)用于某高精度精密離心機主軸回轉(zhuǎn)誤差精密測試中,實測表明,轉(zhuǎn)速在300rpm內(nèi)精密離心機純回轉(zhuǎn)誤差測量結(jié)果為0。精密加工和超精密加工是先進制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前，在制造自動化領(lǐng)域，進行了大量有關(guān)計算機輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā)，計算機集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。