真空泵在真空泵維修中的作用

有機(jī)復(fù)合信息存儲(chǔ)薄膜研究取得的成果說(shuō)明真空技術(shù)在未來(lái)的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測(cè)量技術(shù)已經(jīng)成熟，但更廣泛的應(yīng)用，

特別是為發(fā)展未來(lái)信息社會(huì)的關(guān)鍵技術(shù)一納米電子器件中，真空技術(shù)的應(yīng)用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發(fā)。在即將到來(lái)的21世紀(jì)，真空技術(shù)將隨著納米電子學(xué)進(jìn)入信息社會(huì)的各個(gè)領(lǐng)域，發(fā)揮越來(lái)越大的作用。

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真空泵維修原理和機(jī)械泵的參數(shù)

機(jī)械泵的分類：機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

機(jī)械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級(jí)機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計(jì)算：Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積，L表示空腔長(zhǎng)度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過(guò)程，Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候，吸氣結(jié)束，此時(shí)空腔內(nèi)的體積，轉(zhuǎn)速為n。

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真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近半個(gè)世紀(jì)的歷史表明,電子學(xué)器件的發(fā)展對(duì)人類社會(huì)起了很大的推動(dòng)作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對(duì)科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進(jìn)作用。電子管的誕生是真空科學(xué)技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細(xì)加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過(guò)程都與真空技術(shù)有關(guān)。

微電子器件是現(xiàn)代高速計(jì)算機(jī)和個(gè)人計(jì)算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國(guó)家,微電子和計(jì)算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過(guò)了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國(guó)民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前位。在電子工業(yè)和計(jì)算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

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