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發(fā)布時(shí)間:2021-04-16 09:18  
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1.2集成電路行業(yè)VOCs主要成分
集成電路行業(yè)有機(jī)廢氣VOC的主要成分為和,此兩項(xiàng)物質(zhì)占比達(dá)VOCs主要成分80%-100 %,其中占比55%以上,占比5%-34%。
2.集成電路行業(yè)VOCs廢氣處理方法
集成電路行業(yè)廢氣主要成分VOCs廢氣,目前對(duì)于VOCs廢氣處理方法主要有活性炭吸附法、低溫等離子法、燃燒法、UV光解法。

這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且將其吸附在吸附劑的表面,從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度(≤800mg/m3)、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。
活性炭?jī)艋矢撸ɑ钚蕴课娇蛇_(dá)到95%以上),實(shí)用遍及,操縱簡(jiǎn)單,投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭,更換活性炭需要費(fèi)用,替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理,運(yùn)行費(fèi)用高。