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發(fā)布時(shí)間:2020-10-17 07:28  

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浙江飛雨與您分享制藥車間凈化工程設(shè)計(jì)要考慮選擇準(zhǔn)確的潔凈度

制藥車間凈化工程設(shè)計(jì)要考慮選擇準(zhǔn)確的潔凈度。

如何選用潔凈度級(jí)別,這是一個(gè)值得認(rèn)真研究的問(wèn)題。一般說(shuō)來(lái),生產(chǎn)環(huán)境中空氣的潔凈度越高對(duì)生產(chǎn)越有利。但它們之間并非是正比關(guān)系,在某點(diǎn)以上,提高潔凈度對(duì)生產(chǎn)的效果非常明顯,而當(dāng)達(dá)到飽和點(diǎn)以后,如果繼續(xù)提高潔凈度就收效甚微,反而使產(chǎn)品的成本提高,造成浪費(fèi)。因此,潔凈度級(jí)別的選用并非越高越好,應(yīng)當(dāng)恰到好處。無(wú)塵車間的材料比較嚴(yán)格,首先無(wú)塵,材料是不能產(chǎn)生灰塵的材料,還要堅(jiān)固不易碎,不易產(chǎn)生靜電等要求。

例如一個(gè)車間,潔凈度要求由萬(wàn)級(jí)提高到萬(wàn)級(jí),則換氣次數(shù)應(yīng)由次小時(shí),增加到一次小時(shí)。如果要求更高l級(jí)別,則空調(diào)

潔凈系統(tǒng)就不可能采用亂流系統(tǒng),而要采用垂直平行流或水平平行流系統(tǒng),換氣次數(shù)則要求次時(shí)以上。這樣對(duì)建筑物本身的構(gòu)造提出了更高的要求,也提高了整個(gè)車間凈化工程的工程造價(jià),運(yùn)行費(fèi)用也隨之提高。凈化車間十萬(wàn)級(jí)



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浙江飛雨與您分享電子無(wú)塵車間凈化工程設(shè)計(jì)施工要求

電子無(wú)塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,電子無(wú)塵車間凈化工程對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室,電子無(wú)塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

電子行業(yè)車間凈化

根據(jù)電子無(wú)塵車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。凈化車間十萬(wàn)級(jí)

種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對(duì)于大面積高等級(jí)的凈化車間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

第2種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車間大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。電子無(wú)塵車間凈化原理:氣流→初效空氣過(guò)濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過(guò)濾器凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效空氣過(guò)濾器凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?!仫L(fēng)百葉窗→初效空氣過(guò)濾器凈化重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。凈化車間十萬(wàn)級(jí)

集成電路制造對(duì)電子無(wú)塵車間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下,而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。

另外,集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求,尤其是振動(dòng)的控制,在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

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車間凈化工程控管項(xiàng)目如下:

   1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。

   2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

   3、溫度和濕度之控制。

   4、壓力之調(diào)節(jié)。

   5、有害氣體之排除。凈化車間十萬(wàn)級(jí)

   6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

   7、靜電之防制。

   8、電磁干擾預(yù)防。

   9、安全因素之考慮。凈化車間十萬(wàn)級(jí)

   10、節(jié)能之考量。