真空設備檢漏

聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經(jīng)濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發(fā)聲地點。由于檢測環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應與其它檢測法并用。

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設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。

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真空設備檢漏與維修

隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氫氣檢漏法檢測靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡便，將是以后檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備；對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。

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氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。