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發(fā)布時間:2022-07-30 03:27  
NH4Cl濃度對蝕刻的影響:從溶液再生的化學(xué)反應(yīng)式可以看出,[Cu(NH3)2]-的再生過程需要有大量的NH3-H2O和NH4Cl的存在,如果蝕刻機(jī)藥液缺乏NH4Cl,將使[Cu(NH3)2]-得不到再生,蝕刻速度就會降低,以至于失去蝕刻能力。所以,NH4Cl的含量對蝕刻速度影響很大。但是,溶液中Cl-含量過高會引起抗蝕層侵蝕,鋼板腐蝕機(jī)機(jī)械設(shè)備,一般濃度控制在150g/L左右為宜。
溫度對蝕刻速度的影響:當(dāng)蝕刻溫度低于40℃時,蝕刻速度很慢,而蝕刻速率過慢會增大側(cè)蝕量,影響蝕刻精度。溫度高于60℃,蝕刻速率明顯加快,但氨的揮發(fā)量也大大增加,導(dǎo)致環(huán)境污染的同時使溶液中化學(xué)成分比例失調(diào),故一般蝕刻機(jī)工作溫度控制在45℃~55℃為宜。






刻蝕相對光刻要容易。光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂滿光刻膠的晶圓(或者叫硅片)上蓋上事先做好的光刻板,然后用紫外線隔著光刻板對晶圓進(jìn)行一定時間的照射。原理就是利用紫外線使部分光刻膠變質(zhì),易于腐蝕。
“刻蝕”是光刻后,用腐蝕液將變質(zhì)的那部分光刻膠腐蝕掉(正膠),晶圓表面就顯出半導(dǎo)體器件及其連接的圖形。然后用另一種腐蝕液對晶圓腐蝕,形成半導(dǎo)體器件及其電路。
擴(kuò)展資料:
光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,鋼板腐蝕機(jī)供應(yīng)商,手動、半自動、全自動
1.手動:指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn),對準(zhǔn)精度可想而知不高了;
2.半自動:指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;
3.自動: 指的是 從基板的上載,曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機(jī)主要是滿足工廠對于處理量的需要。
蝕刻設(shè)備的選擇
不管采用什么樣的蝕刻方法,都少不了與之配套的蝕刻設(shè)備,濱州鋼板腐蝕機(jī),對于噴淋式蝕刻,需要購買合適的蝕刻機(jī),蝕刻機(jī)傳輸式的蝕刻機(jī)也有非傳輸式噴射蝕刻機(jī),傳輸式蝕刻機(jī)適用于批量生產(chǎn),非傳輸式噴射蝕刻機(jī)適用于中小規(guī)模的生產(chǎn),這種類型的蝕刻機(jī)一般都難以自制,而必須去設(shè)備廠定做或者在設(shè)備市場購買,蝕刻機(jī)選擇的原則主要由生產(chǎn)量決定,這里所指的生產(chǎn)量是指可以預(yù)計一段時間內(nèi)的平均日產(chǎn)量。
如果采用浸泡式蝕刻就需要一定體積的蝕刻槽,蝕刻槽體的材料根據(jù)蝕刻液的性質(zhì)而定,對于堿性蝕刻,鋼板腐蝕機(jī)金屬上刻字,大多采用不銹鋼材料,并要注意有保溫裝置,對于酸性蝕刻體系,可采用 PP材質(zhì)制作,對于大型的蝕刻槽可以采用不銹鋼加內(nèi)襯軟PP材料制作。


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