潔凈室——照度控制

由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大都有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房屋，所以對(duì)照明一向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式：

(1)一般照明

它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個(gè)被照面積而設(shè)置的照明。 (2)局部照明

這是指為增加某一zhi定地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。

凈化工程——無(wú)塵車(chē)間

所謂的無(wú)塵車(chē)間是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路技術(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵車(chē)間)潔靜度的需求，在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。凈化工程潔凈室并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上，以為生產(chǎn)之用。 由于奈米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線(xiàn)形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線(xiàn)上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵車(chē)間為集成電路制造不可或缺的要素。

各行業(yè)對(duì)凈化車(chē)間潔凈等級(jí)的要求?立凈021-69116303

現(xiàn)如今，潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各個(gè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程不相同，使用要求不一樣，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會(huì)相同。P#iyQ9yYu5s_A2、潔凈室內(nèi)的計(jì)算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定：（1）滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求（2）生產(chǎn)工藝無(wú)溫、濕度要求時(shí)，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。所謂無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)不僅要求對(duì)室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，還必須防止因無(wú)塵車(chē)間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來(lái)的污染，有的無(wú)塵車(chē)間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。