潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)

潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)，是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來(lái)的一門(mén)綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括：空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測(cè)技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機(jī)械、化工、食品、汽車(chē)制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

節(jié)能化成為潔凈工程重要目標(biāo)

節(jié)能化成為潔凈工程重要目標(biāo) 潔凈廠房是我國(guó)的耗能大戶之一，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，潔凈室的能耗是一般寫(xiě)字樓的10~30倍。我國(guó)的8英寸芯片廠，潔凈室單位面積能耗比美國(guó)同型工廠高15%。美國(guó)耗能1.28 kW/m2~1.63 kW/m2，而中國(guó)耗能1.48 kW/m2~1.93 kW/m2（資料來(lái)源：中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈分會(huì)）。以上海某芯片廠為例，其全年耗電量51%是用于潔凈工程運(yùn)行及相關(guān)的維護(hù)，如果將51%的能耗合理降低，對(duì)企業(yè)來(lái)說(shuō)就意味著利潤(rùn)的增長(zhǎng)。因此，潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來(lái)越重視潔凈室的節(jié)能問(wèn)題。這就要求潔凈工程行業(yè)的設(shè)計(jì)和施工企業(yè)，從客戶需求出發(fā)，從設(shè)計(jì)理念、建造施工、設(shè)備配備及運(yùn)行等各個(gè)方面進(jìn)行節(jié)能設(shè)計(jì)，只有采取的節(jié)能技術(shù)，整個(gè)潔凈工程行業(yè)才能持續(xù)、良性發(fā)展。

千級(jí)凈化室過(guò)濾器,需到上海采購(gòu)

凈化過(guò)濾要求； 通風(fēng)管道一般采用三級(jí)過(guò)濾，即普通過(guò)濾裝置、中效過(guò)濾裝置、過(guò)濾裝置。過(guò)濾器的質(zhì)量好壞，需要重點(diǎn)把關(guān)。質(zhì)量不好的過(guò)濾器，用的時(shí)間短，過(guò)濾效果不好。特別是風(fēng)阻過(guò)大，導(dǎo)致出風(fēng)量小。據(jù)我調(diào)查，千級(jí)凈化室過(guò)濾器，需到上海采購(gòu)。通風(fēng)管道的鏈接部位，要用質(zhì)量好的密封圈。用密封膠來(lái)彌補(bǔ)密封圈的質(zhì)量問(wèn)題，時(shí)間稍長(zhǎng)一些，管道密封就會(huì)出問(wèn)題，解決起來(lái)非常麻煩。會(huì)造成意想不到損失。送風(fēng)管道質(zhì)量出了問(wèn)題，等于全部工程推倒重來(lái)。凈化工程質(zhì)量出問(wèn)題，大部分是管道安裝出現(xiàn)問(wèn)題，重新打密封膠，只能暫時(shí)解決問(wèn)題。有的使用單位過(guò)濾器更換頻繁，一般都是送風(fēng)管道出現(xiàn)毛病，所以安裝凈化管道必須精心。工程監(jiān)理一分鐘都不可離開(kāi)。 凈化風(fēng)機(jī)選用； 凈化室根據(jù)使用時(shí)間決定風(fēng)機(jī)安裝數(shù)量。如果每天使用24小時(shí)，至少應(yīng)安裝兩個(gè)以上風(fēng)機(jī)。如果每天使用八小時(shí)，安裝兩個(gè)風(fēng)機(jī)以下即可。如果間斷使用，安裝一個(gè)風(fēng)機(jī)即可。風(fēng)機(jī)的型號(hào)、大小、根據(jù)凈化室面積決定。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。 具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。 濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。 潔凈室中的氣壓規(guī)定 對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。