氣體通分析：高純氣體的原材料難以再產(chǎn)

高純原料氣體的質(zhì)量對標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的準(zhǔn)確性，起著至關(guān)重要的作用，原料氣的不確定是構(gòu)成標(biāo)準(zhǔn)氣體合成不確定度的極為重要部分，因此，沒有高質(zhì)量的高純原料氣，就根本制備不出高準(zhǔn)度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。也正因如此，我國早在八十年代，為了標(biāo)準(zhǔn)氣體的需要，原化工部對我國的高純氣體研制進(jìn)行了多年的資金支持。

而不會產(chǎn)生偏離預(yù)置零點以外的響應(yīng)信號。對不同類型的檢測方法和不同燈頭型的檢測儀器，低檢測限會對零點氣體提出不同的要求。近年來，標(biāo)準(zhǔn)氣體由于競爭加劇，利潤下滑，標(biāo)氣生產(chǎn)廠對所用的高純原料氣進(jìn)價也十分計較，這樣大量低價的劣質(zhì)原料氣也隨之出現(xiàn)，如將工業(yè)當(dāng)成高純出售，其實目前市面所常見的多為硫加氫（S H2→H2S）干法合成的工業(yè)級的H2S。 如用在線分析儀器測量CO2高純氣體中的總烴含量時，可采用氣相色譜法用氫火焰離子化檢測器（FID）檢測，由于FID存在強烈的基體效應(yīng)，當(dāng)采用不同基體的零點氣校正儀表時，會導(dǎo)到致不可忽略的誤差。   

高純CO2可采用不同方法制取，如合成氨法、煤氣化法、乙烯氧化法、地下氣井法、發(fā)酵法等。高純氣體發(fā)展：高純度氣體是工業(yè)氣體，近年來，隨著國1防工業(yè)，科研，自動化技術(shù)，精密的檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，并開發(fā)出新的范圍。但可看到，用發(fā)酵法制取的食品級CO2,其中所含烴類雜質(zhì)組成相對比較簡單（僅含甲1醇、乙醇、乙1醚、丙1酮、乙1酸乙酯、乙1醛等），適于選用作為零點氣的基本成分，此種高純CO2再經(jīng)催化氧化脫烴凈化、干燥以后，可作為校準(zhǔn)儀表用CO2中總烴的“零點”氣。