位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動(dòng)變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來(lái)檢測(cè)，大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來(lái)測(cè)量。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率可達(dá)到納米級(jí)）、抗干擾能力強(qiáng)、沒(méi)有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。在國(guó)內(nèi)研究所，高等院校、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器。

渦流或電容位移傳感器

渦流傳感器是非接觸式設(shè)備，可測(cè)量位置和/或?qū)щ娊M件位置的變化。該傳感器在磁場(chǎng)下工作。該傳感器具有一個(gè)探針，該探針在探針的產(chǎn)生交流電。交流電會(huì)在我們正在監(jiān)視的組件中產(chǎn)生小的電流，稱為渦流。傳感器監(jiān)視這兩個(gè)磁場(chǎng)的相互作用。隨著現(xiàn)場(chǎng)互動(dòng)的變化傳感器將產(chǎn)生與兩個(gè)場(chǎng)相互作用的變化成比例的電壓。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當(dāng)薄膜隨質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)時(shí)，空氣流經(jīng)小孔從而產(chǎn)生所需的阻尼力。

使用渦流傳感器時(shí)對(duì)于正常操作，組件的直徑至少應(yīng)大于傳感器直徑的三倍；否則，將需要校準(zhǔn)。

電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點(diǎn)外，還具有信噪比高，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所，高等院校、工廠等部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器。動(dòng)極板相對(duì)于定極板移動(dòng)時(shí)，機(jī)械位移量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娙葜档淖兓ㄟ^(guò)電路轉(zhuǎn)化得到電信號(hào)的相應(yīng)變化量。

特點(diǎn)：

1 近距離高的度非接觸式位置測(cè)量

2 可達(dá)亞納米級(jí)直至皮納米級(jí)別分辨率，為世界上所有商用電容傳感器中噪音性能***品牌

3 可基于無(wú)論是高穩(wěn)定性和線性還是測(cè)量帶寬而提供多種型號(hào)探頭“應(yīng)用定制化”的優(yōu)化方案。

4 單一通道或多通道（3U歐洲卡機(jī)架安裝標(biāo)準(zhǔn)）可選