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發(fā)布時間:2020-11-12 08:00  
光波超精密——空氣導軌
氣浮導軌的結(jié)構(gòu)形式
平面封閉型導軌:這種形式的導軌,由于工作臺導軌面變形較小,可以達到高精度,高剛性,大載荷的要求,zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設備的長導軌。
重量平衡式導軌:此結(jié)構(gòu)導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定,全部載荷由導柱承擔,易發(fā)生變形,故除垂直導軌外,多用于輕載荷、短導軌。
真空負壓平衡式導軌:該導軌結(jié)構(gòu)簡單,易于加工。但軸承剛度較低,德陽空氣導軌,適合負荷變化小的場合。
光波超精密——空氣導軌
真空負壓平衡式導軌:該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型,空氣導軌廠家,適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下,在保持真空負壓和靜壓的同時,由固定的導軌間隙維持。
線性導軌主要有以下幾種類型
一、滑動(動壓力)導向器。
二是靜壓導軌,根據(jù)流體的不同,可分為:空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。
三、滾動導軌,因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。
四、磁浮軌道
幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。
光波超精密——空氣導軌
氣浮導軌是利用空氣粘性,將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導入導軌與滑塊間隙中,閉式圓柱空氣導軌,形成具有超高剛度的氣膜間隙,從而支撐負載實現(xiàn)平穩(wěn)運動。
應用行業(yè):電子制造裝備行業(yè)中,如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量
使用壽命摩擦系數(shù)接近為零,永不i磨損,精度延續(xù)性精度持久性高,出廠精度即為永i久精度導軌永不i磨損,因此不存在售后問題,使用成本不用返廠維修,更不用整套更換。
基準修正精度永不損失,導軌不用人為修正,補償,花崗巖空氣導軌,高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大,運動平穩(wěn),振幅小,且振動頻率接近,因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響,
光波超精密技術(shù)研究院——空氣導軌
氣浮導軌,簡單易行,即利用壓縮空氣使滑塊和導軌座相對懸浮,實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動,并具有高精度導引。氣浮導軌相位滾動導軌的優(yōu)點有:1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小,且均勻度好,精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關系,即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行,運動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護、清潔環(huán)保。

光波超精密技術(shù)研究院——空氣導軌
氣體靜壓導軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離,當壓縮空氣靜壓導軌和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔,沿封氣朝向外流動,在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處,氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài),從而產(chǎn)生氣體摩擦。負荷增大時,氣膜厚度降低,而負荷增大時,氣膜厚度增加;氣膜既起承壓作用,又起潤滑作用。
光波超精密氣浮導軌——空氣導軌
空氣靜壓導軌是三坐標測量機實現(xiàn)三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標摩擦導軌,大多采用滑動摩擦導軌,因其摩擦阻力大,較易磨損,靜、動摩擦系數(shù)差異較大,且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象,已不能滿足測量精度和速度的不斷提高,因而逐漸用空氣靜壓導軌代替滑動摩擦導軌。風壓式導軌摩擦系數(shù)小,運行平穩(wěn),運動精度高,磨損小,是目前三坐標測量機中使用zui廣泛的一種導軌形式。
空氣靜壓導軌的工作原理空氣靜壓導軌的運動部件和承載部件通過氣膜相互隔離,氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導面之間的空隙排放出來的。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔,沿封氣朝向外流動,在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。


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