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發(fā)布時間:2024-08-28 03:20  





什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,智能電磁流量計多少錢,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器
一般而言,僅對流量進行計量或監(jiān)測時,智能電磁流量計價格,用質(zhì)量流量計;需要對流量進行控制時,用質(zhì)量流量控制器。某些測量場合,用二者皆可,如對毛細管流通能力的測量,當(dāng)定壓測流的時候, 用質(zhì)量流量計; 當(dāng)定流測壓時, 需要用質(zhì)量流量控制器。注意,智能電磁流量計, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時, 也可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計大一些。

流量控制器
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。


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