汽蝕毀壞除機(jī)械作用外，還隨同著電解、化學(xué)侵蝕等多種簡(jiǎn)單的作用。理論毀壞動(dòng)機(jī)表明，泵過(guò)流元件汽蝕毀壞的部位，正是氣泡失蹤的中央。真空泵須要用液體作為作業(yè)介質(zhì)。每種液體在某一熱度下都有對(duì)應(yīng)的飽和蒸汽壓。當(dāng)吸入海域的相對(duì)壓力越瀕臨液體的飽和蒸汽壓時(shí)，液體越瀕臨蒸發(fā)狀態(tài)。那時(shí)，在吸入海域的作業(yè)液名義會(huì)產(chǎn)生一大批的氣泡，因?yàn)橐后w在作業(yè)腔內(nèi)產(chǎn)生的作業(yè)液蒸汽會(huì)龍盤虎踞全體作業(yè)腔的空間，泵對(duì)外的吸氣威力會(huì)有所上升。

真空泵油的飽和蒸汽壓，飽和蒸汽壓是真空泵油較關(guān)鍵的指標(biāo)之一。在恒溫的密閉容器中，當(dāng)汽液兩相到達(dá)動(dòng)態(tài)均衡時(shí)的壓力稱謂飽和蒸汽壓。油品的飽和蒸汽壓要盡量低，在泵的高工作溫度下，仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規(guī)則的極限壓強(qiáng)。在60℃溫度條件下至少要到達(dá)6．5×10-5 kPa(因溫升每上升20℃，飽和蒸汽壓大約要下跌一個(gè)數(shù)量級(jí))。

真空泵油的極限全壓力和極限分壓力，極限全壓力：由皮拉尼計(jì)或熱偶真空計(jì)測(cè)出真空泵一切物質(zhì)(氣體)產(chǎn)生壓強(qiáng)的總和。國(guó)外目前注重全壓強(qiáng)的測(cè)試指標(biāo)。極限分壓力：用緊縮式真空計(jì)(麥?zhǔn)嫌?jì))測(cè)得的泵的極限空氣分壓力，雙級(jí)旋片泵分壓力應(yīng)為≤6×10-5kPa。極限全壓力與極限分壓力差值請(qǐng)求不大于一個(gè)數(shù)量級(jí)。二者之間的差值越大，真空泵油中含有的揮發(fā)成分就越多，油品的性質(zhì)就越差。