蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。

 泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

 隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，

 正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。水環(huán)式真空泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、及食品等許多工業(yè)部門。隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，