淬火加熱溫度過高，使得奧氏體晶粒粗大，且會造成氧化、脫碳現(xiàn)象，零件變形與開裂的傾向增大。在規(guī)定的加熱溫度范圍內，淬火加熱溫度偏低則會造成零件內孔收縮，孔徑尺寸變小。故應選用加熱溫度規(guī)范的上限植;而對于合金鋼，加熱溫度偏高，則會引起內孔膨脹，孔徑尺寸變大，因此應選用加熱溫度的下限值為宜。對于一些小型的沖壓凸凹?；蚣氶L的圓柱形零件(如小沖頭)，可事先預熱至520--580℃，然后放入中溫鹽浴爐內加熱至淬火溫度，比直接使用電爐或反射爐加熱淬火零件變形明顯減小，且能控制開裂傾向。尤其是高合金鋼模具零件，正確的加熱方式為：先預熱(溫度為530--560℃)，然后升至淬火溫度。加熱過程中應盡量縮短高溫段時間，以減少淬火變形及避免小裂紋的生產。

工件變形小。一般來說，被處理的工件在爐內靠熱輻射加熱，內外溫差較小，熱應力小，因此決定了真空熱處理工藝處理的零件變形小，一起在真空下加熱和在真空下淬火，主動完成，避免了熱態(tài)下工件在空氣中的搬運，削減了人為加工變形，提高了產品合格率。

可削減工件含金元素揮發(fā)性。真空熱處理能在可控氣氛下加熱和真空淬火，從而削減了工件含金元素揮發(fā)性，保證了工件的熱處理質量。

在分析真空熱處理工件增碳現(xiàn)象時，有兩種誤解：，認為是工件在淬火油中增碳；第二，認為是加熱熱室的石墨件造成增碳。其實，很多情況下不是這兩個原因，而是加熱熱室的清潔度不高，有大量淬火油在工件進出爐、料筐污染、送料小車進出帶入熱室，殘留在熱室冷壁上，加熱時形成揮發(fā)性還原氣氛，對工件增碳。除了在1050℃高溫以上的溫度直接入油外。 1050℃以下的加熱工件油淬火時，稍做預冷入油不會形成明顯的增碳現(xiàn)象。對加熱室的石墨件等對工件的增碳情況，也不能排除，但是完全沒有殘留淬火的氣氛嚴重。真空加熱淬火的增碳現(xiàn)象更為嚴重的是來自淬火油污染爐膛的原因，不是人們所說的油中淬火或石墨件的原因！

（二）宏觀組織檢驗及斷口分析。1.宏觀檢驗法。鋼材的宏觀經驗常用酸浸腐蝕的方法，包括熱酸浸蝕檢驗，冷酸浸蝕檢驗，電解酸蝕等方法。2.斷口分析。分析包括宏觀斷口分析，顯微斷口分析。（三）顯微組織分析。1.鋼熱處理后的纖維組織鑒別。2.鋼的顯微缺陷檢驗。3.鋼中非金屬夾雜物的檢驗。4.化學熱處理的層深測定。5.灰鑄鐵的組織檢驗。6.常用有色金屬的組織分析。（四）力學性能試驗。1.熱處理零件的硬度檢驗。2.熱處理零件的機械性能試驗。（五）無損檢測。1.內部缺陷的檢測。2.表層缺陷檢測。