氦質(zhì)譜檢漏儀

不僅耗能耗時(shí)，還會(huì)直接影響真空工藝條件，造成產(chǎn)品不合格等重大生產(chǎn)質(zhì)量問題。氦質(zhì)譜檢漏儀按檢漏儀上的“開始”按鍵，檢漏儀開始對(duì)氣瓶夾層進(jìn)行抽空。究其原因是由于真空系統(tǒng)設(shè)備存在泄漏所致，所以真空系統(tǒng)設(shè)備的真空系統(tǒng)需要進(jìn)行檢漏。對(duì)于由各個(gè)組件組成的真空系統(tǒng)，各個(gè)組件本身存在的一些工藝瑕疵都會(huì)直接影響到系統(tǒng)的固有漏率

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。當(dāng)試件有漏時(shí)，泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測(cè)。吸槍在試件表面移動(dòng)，同時(shí)注視氦質(zhì)譜檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點(diǎn)所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

 

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的自身要符合相關(guān)的質(zhì)量要求。氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點(diǎn)180度非均勻磁場(chǎng)的質(zhì)譜室設(shè)計(jì)，對(duì)焦準(zhǔn)確，靈敏度高。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能自帶第三方的檢測(cè)證書。例如，美國國家計(jì)量院NIST；中國國家計(jì)量院，或有資質(zhì)的檢定機(jī)構(gòu)；德國的DKD等。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要通過有標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進(jìn)行檢定。以此來保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔本身沒有問題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要經(jīng)常檢定、校準(zhǔn)。建議每年進(jìn)行一次校準(zhǔn)。