凈化車間壓差的控制

    凈化車間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量。當(dāng)送入凈化車間內(nèi)的空氣量適當(dāng)?shù)拇笥诨仫L(fēng)和排風(fēng)量時(shí)，室內(nèi)則可維持一定的正壓值。此時(shí)，在室內(nèi)外靜壓差的作用下，通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)不嚴(yán)密處向外滲漏的風(fēng)量與機(jī)械進(jìn)出風(fēng)量的差額相等。

壓差維持的難題在于機(jī)械送風(fēng)量與出風(fēng)量是動態(tài)變化的。對于潔凈 空調(diào)系統(tǒng)來說，過濾器積塵會造成新風(fēng)、送風(fēng)管路阻力增加，從而影響風(fēng)量，排風(fēng)設(shè)備的時(shí)開時(shí)停也會導(dǎo)致排風(fēng)量的變化；無塵車間工程主要包括無塵車間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。此外，與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風(fēng)壓的變化影響房間的壓差。因此潔凈室的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查，并依次對新、送、回、排風(fēng)通路的閥門作出相應(yīng)的調(diào)整。

凈化工程不同等級設(shè)計(jì)參數(shù)？

凈化工程原理

1氣流—初效空氣處理—空調(diào)—中效空氣處理—風(fēng)機(jī)送風(fēng)—凈化管道—高1效送風(fēng)口—潔凈室—帶走塵?！仫L(fēng)夾道—新風(fēng)。

不同等級設(shè)計(jì)參數(shù)：

換氣次數(shù)：十萬級10-15次/小時(shí)；萬級15-25次/小時(shí)；千級50-52次/小時(shí)；百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s

壓差：主凈化車間對相鄰車間≥ 5Pa

溫度：冬季＞ 16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；

相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％；        

照度：≥300Lux。

光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料

1、凈化廠房墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)，圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。

2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級耐磨塑

3、送回風(fēng)管道用熱鍍鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4、高1效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。