干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵，在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接連續(xù)向大氣中排氣的泵。干式真空泵在抽氣流道內無任何液態(tài)工作介質或密封介質，從根本上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問題。羅茨真空泵干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)真空獲得設備。日本是應用螺桿真空泵非常多的國家，半導體和LCD 行業(yè)應用廣泛，羅茨真空泵供應商，大晃株式會社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉子方面申請了，在轉子上做了深入的研究，日立公司早期也做過螺桿泵方面的研究。

干式螺桿真空泵出現(xiàn)于上世紀90年代初，羅茨真空泵制造廠家，由于它具有抽速范圍寬廣、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放以及運行成本低等一系列優(yōu)點，羅茨真空泵報價，因而在半導體、光伏產(chǎn)業(yè)、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域得到廣泛應用。

羅茨真空泵干式螺桿真空泵是由一對同步齒輪帶動逆向旋轉的螺桿，羅茨真空泵，在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間均有一定的間隙，沒有任何金屬與金屬之間的接觸。于是螺桿在旋轉過程中就將被抽氣體從進氣口吸入并排出到排氣口。干式螺桿真空泵按照其中螺桿類型劃分可分為等螺距和變螺距兩類，而變螺距中又分為螺桿二段螺距大小不等和螺桿螺距連續(xù)變化兩種。

干式螺桿真空泵的凈化和清洗處理，是為了除去在壓縮過程中殘留在干式螺桿真空泵內的氣體和壓縮蒸汽。當干式螺桿真空泵重新啟動時，這些殘余物質有可能導致電機過載，這些物質可能產(chǎn)生過多的摩擦負載或損壞螺桿或泵體。所以在泵內積相當數(shù)量的不潔物質的情況下，泵內要清除干凈。羅茨真空泵

螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉子與泵體組成的一個工作室，轉子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙，兩個轉子與泵體之間形成了密封腔，當轉子旋轉時把密封腔內的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。

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