NR77-5000PY

PR1-2000A1 試驗操作流程

PR1-2000A1的厚度范圍可以做到 1500到3500nm，如下以膜厚2900nm為列；

1，靜態(tài)滴膠后以1300轉/分速度持續(xù)40秒。同時必須需要在1秒內達到從0轉/分到1300轉/分的升速度；

2，前烘：熱板120度120秒；

3，冷卻至室溫；

4，用波長為365，406，436的波長曝光，

5，在溫度為20-25度，使用RD6浸泡式、噴霧、顯影 ；

6，去除光刻膠，可使用CH3COCH3，RR5，NR74g 3000PY光刻膠廠家，RR41等。

NR9-3000PYNR74g 3000PY光刻膠

五、曝光

在這一步中，將使用特定波長的光對覆蓋襯底的光刻膠進行選擇性地照射。光刻膠中的感光劑會發(fā)生光化學反應，從而使正光刻膠被照射區(qū)域（感光區(qū)域）、負光刻膠未被照射的區(qū)域（非感光區(qū)）化學成分發(fā)生變化。這些化學成分發(fā)生變化的區(qū)域，在下一步的能夠溶解于特定的顯影液中。

在接受光照后，正性光刻膠中的感光劑DQ會發(fā)生光化學反應，變?yōu)橐蚁┩?，并進一步水解為茚并羧酸（Indene-Carboxylic-Acid， CA），羧酸在堿性溶劑中的溶解度比未感光部分的光刻膠高出約100倍，產生的羧酸同時還會促進酚醛樹脂的溶解。利用感光與未感光光刻膠對堿性溶劑的不同溶解度，就可以進行掩膜圖形的轉移。

曝光方法：

a、接觸式曝光（Contact Printing）掩膜板直接與光刻膠層接觸。

b、接近式曝光（Proximity Printing）掩膜板與光刻膠層的略微分開，大約為10～50μm。

c、投影式曝光（Projection Printing）。在掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實現曝光。

d、步進式曝光(Stepper)

光刻膠國際化發(fā)展

業(yè)內人士認為，按照現在“單打獨斗”的研發(fā)路徑，肯定不行。相關部門要加大產業(yè)政策的配套支持力度，應從加快完善整個產業(yè)鏈出發(fā)，定向梳理國內缺失的、產業(yè)依賴度高的關鍵電子化學品，要針對電子化學品開發(fā)難度高，NR74g 3000PY光刻膠哪家好，檢測設備要求高的特點，組織匯聚一些優(yōu)勢企業(yè)和，形成一個產業(yè)聯盟，國家建立一個生產應用平臺，NR74g 3000PY光刻膠價格，集中力量突破一些關鍵技術。

江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健表示，NR74g 3000PY光刻膠，光刻膠要真正實現國產化，難度很大。問題是國內缺乏生產光刻膠所需的原材料，致使現開發(fā)的產品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。而作為生產光刻膠重要的色漿，至今依賴日本。前道工藝出了問題，保證不了科研與生產，光刻膠國產化就無期。因此，必須通過科研單位、生產企業(yè)的協同創(chuàng)新，盡快取得突破。

有提出，盡管國產光刻膠在面板一時用不起來，但還是要從政策上鼓勵國內普通面板的生產企業(yè)盡快用起來。只有在應用過程中才能發(fā)現問題，解決問題，不斷提升技術、工藝與產品水平，實現我國關鍵電子化學品材料的國產化，完善我國集成電路的產業(yè)鏈，滿足國家和重點產業(yè)的需求。

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