常用的水冷式螺桿式冷水機組

潔凈室的冷熱源機組： 桿式冷水機組 螺桿式冷水機組是由螺桿式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統(tǒng)。常用的水冷式螺桿式冷水機組冷凝器進出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，冷量范圍為580～1163kW。 離心式冷水機組 離心式冷水機組是由離心式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器、節(jié)流機構(gòu)和調(diào)節(jié)機構(gòu)以及各種控制元件組成的整體機組。離心式冷水機組的制冷量較大，常用的水冷式離心式冷水機組冷凝器進出水溫分別設(shè)置為32℃、37℃，蒸發(fā)器出口冷凍水溫度設(shè)置為7度，單機容量通常在1163kW以上，所以，離心式冷水機組一般用于大型中央空調(diào)系統(tǒng)。 在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期，國外已大量建成0.1微米級的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。

凈化室根據(jù)用途決定凈化等級

凈化室根據(jù)用途決定凈化等級，根據(jù)需要調(diào)節(jié)凈化室溫度、濕度、換氣次數(shù)。溫度可由不銹鋼管道調(diào)節(jié)，也可用凈化室空調(diào)調(diào)節(jié)。濕度根據(jù)具體工藝要求，采用設(shè)備調(diào)節(jié)。根據(jù)不同的凈化要求，我們采用的施工材料、施工工藝都有所不同。千級凈化室，必須采用不銹鋼鋼板做保溫隔離。鋼板接縫處不能有輕微的變形。千級凈化室的隔離鋼板，目前需到北京、上海等地采購。凈化管道可采用不銹鋼管道，鍍鋅管道。管道外部要做保溫處理。管道施工前，管道內(nèi)部潔凈處理十分重要，不能等到全部管道安裝完畢在做潔凈處理。這是施工關(guān)鍵所在。很多工程無法驗收合格于此相關(guān)，應(yīng)特別注意。管道的設(shè)計與凈化室的大小相關(guān)，與送風(fēng)量大小相關(guān)，與凈化要求相關(guān)。凈化空調(diào)的大小，風(fēng)量大小，在具體的施工過程中根據(jù)需要調(diào)節(jié)。由于環(huán)境不同，地理位置不同，施工工藝也不同。要根據(jù)實際要求設(shè)計。例如：同樣是900平方米凈化廠房，里面有50個工人和100個工人就需調(diào)整通風(fēng)管道設(shè)計。設(shè)計時要綜合考慮。根據(jù)經(jīng)驗，具體環(huán)境，調(diào)整設(shè)計。

使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素

使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素 相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚，呼吸道不適以及情感上的不快。 高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累，較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。 相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。 濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。 潔凈室中的氣壓規(guī)定 對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則： 1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。 壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。