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大塚OPTM信賴推薦

發(fā)布時間:2020-08-09 06:24  

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考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。


1.膜厚測試儀出現(xiàn)下列情況,必需重新校準(zhǔn)。  ·校準(zhǔn)時,輸入了一個錯誤值;  ·操作錯誤。  2.在直接方式下,如果輸入了錯誤的校準(zhǔn)值,應(yīng)緊接著做一次測量,隨后再做一次校準(zhǔn),即可獲取新值消除錯誤值?! ?.每一組單元中,只能有一個校準(zhǔn)值?! ?.零點校準(zhǔn)和二點校準(zhǔn)都可以重復(fù)多次,以獲得更為精準(zhǔn)的校準(zhǔn)值,提高測量精度但此過程中一旦有過一次測量,則校準(zhǔn)過程便告結(jié)束。


膜厚測試儀波譜校準(zhǔn)   不關(guān)機狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機3小時以上再次重開機必做,目的讓儀器進行自我補償調(diào)整。首先點擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”,然后將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵)。待膜厚測試儀器自動完成每一步,紅色STOP鍵會轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測量(點擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功”字樣的對話框時,點擊“確定”即可。