20世紀60年代為了適應核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術。到80年代初，其加工尺寸精度已可達10納米（1納米=0.001微米）級，表面粗糙度達1納米，加工的尺寸達 1微米，正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超加工是處于發(fā)展中的跨學科綜合技術。

20世紀80年代至90年代為民間工業(yè)應用初期。在20世紀80年代，美國政府推動數(shù)家民間公司Moore Special Tool和Pneumo Precision公司開始超加工設備的商品化，超加工廠家，而日本數(shù)家公司如Toshiba和Hitachi與歐洲的Cmfield大學等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，這些設備開始面向一般民間工業(yè)光學組件商品的制造。但此時的超加工設備依然而稀少，主要以機的形式訂作。在這一時期，除了加工軟質金屬的金剛石車床外，可加工硬質金屬和硬脆性材料的超金剛石磨削也被開發(fā)出來。該技術特點是使用高剛性機構，以切深對脆性材料進行延性研磨，可使硬質金屬和脆性材料獲得納米級表面粗糙度。當然，其加工效率和機構的復雜性無法和金剛石車床相比。20世紀80年代后期，美國通過能源部“激光核聚變項目”和陸、海、空三軍“先進制造技術開發(fā)計劃”對超金剛石切削機床的開發(fā)研究，投入了巨額資金和大量人力，實現(xiàn)了大型零件的微英寸超加工。

機械加工工藝的作用，主要從三點來說：

一、是指導生產(chǎn)的主要技術文件

機械加工車間生產(chǎn)的計劃、調度，工人的操作，零件的加工質量檢驗，加工成本的核算，都是以工藝規(guī)程為依據(jù)的。處理生產(chǎn)中的問題，也常以工藝規(guī)程作為共同依據(jù)。如處理質量事故，應按工藝規(guī)程來確定各有關單位、人員的責任。

二、是生產(chǎn)準備工作的主要依據(jù)

車間要生產(chǎn)新零件時，首先要制訂該零件的機械加工工藝規(guī)程，再根據(jù)工藝規(guī)程進行生產(chǎn)準備。如：新零件加工工藝中的關鍵工序的分析研究；準備所需的刀、夾、量具；原材料及毛坯的采購或制造；新設備的購置或舊設備改裝等，均必須根據(jù)工藝來進行。

三、是新建機械制造廠的基本技術文件

新建批量或大批量機械加工車間時，應根據(jù)工藝規(guī)程確定所需機床的種類和數(shù)量以及在車間的布置，再由此確定車間的面積大小、動力和吊裝設備配置以及所需工人的工種、技術等級、數(shù)量等。

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