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發(fā)布時(shí)間:2021-09-18 14:46  
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目前市場(chǎng)主流常規(guī)水平式蝕刻機(jī),在板子雙面同時(shí)噴淋蝕刻過(guò)程中,顯然下表面蝕刻速度與蝕刻均勻性要比上表面好,上表面的板四周蝕刻速度快于中間部位。這主要由于通常的噴淋蝕刻過(guò)程中板子上表面會(huì)形成蝕刻液的“水池”,嚴(yán)重影響蝕刻均勻性與引起側(cè)蝕。
真空蝕刻機(jī)的一組模塊結(jié)構(gòu),內(nèi)設(shè)有加裝智能吸水系統(tǒng)套件,吸取板面走蝕刻液,不使蝕刻液滯留在板面。真空吸液盤固定在橋板上離基板調(diào)為的距離位置。 如0.2mm厚以下的板子精度達(dá)到 -0.01mm,相比常規(guī)蝕刻機(jī)高出一倍,產(chǎn)能相比常規(guī)蝕刻機(jī)高出三分之一,同樣也提。使用該真空技術(shù)給企業(yè)改善精工制造也帶來(lái)強(qiáng)大的核心競(jìng)爭(zhēng)力!




蝕刻機(jī)可以分為化學(xué)蝕刻機(jī)及電解蝕刻機(jī)兩類。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液,經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到蝕刻的目的,化學(xué)蝕刻機(jī)是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。
光刻機(jī)(Mask Aligner) 又名:掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光來(lái)制作一個(gè)圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過(guò)程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)""到硅片上的過(guò)程。
光柵刻畫:光學(xué)中光柵通常的作用是色散。光柵刻劃是制作光柵的方法之一。
