高純氦氣是怎么樣的氣體呢?

（7）在亞微米級集成電路生產(chǎn)中，要求提供10-9級高純氣體。為了保證結(jié)束氣體處理設備的氣體純度，應提高氣體中的雜質(zhì)含量（包含塵粒）控制在規(guī)定值內(nèi)，一般在設備前設置終端凈化設備或終端高精度氣體過濾器。每種氣體都有自身的能量，有的是對人們有利的，高純氧氣廠，但有的氣體確是對人們有害的，平?？吹碾娨晞‰娪埃檻?zhàn)的那種，很多里面都會有這些風險氣體，可見，東西都要用對當?shù)?，這樣才干發(fā)揮作用，那么高純氦氣是怎么樣的一種氣體呢？關(guān)于它的注意事項又是什么呢？

180°C時0

-180℃時0.729g/cm3液體熱膨脹系數(shù)，高純氧氣，-180℃時0.007531/℃表面張力，-210℃時12.2×10-3N/m，12.2dyn/cm氣體密度，101.325kPa(atm)和70oF(21.1℃)時1.160kg/m3，0.0724lb/ft3氣體相對密度。101.325kPa(1atm)和70oF時(空氣=1)0.967汽化熱，沸點下202.76kJ/kg，高純氧氣99.99%，87.19BTU/1b熔化熱，熔點下25.7kJ/kg，11.05BTU/1b氣體定壓比熱容cp，25℃時1.038kJ/(kg·k)0.248BTU/(1b·R)氣體定容比熱容cp，25℃時0.741kJ/(kg·k)，0.177BTU/(1b·R)氣體比熱容比，cp/cv1.401液體比熱容，-183℃時2.13kJ/(kg·k)，0.509BTU/(1b·R)因體比熱容，高純氧氣標準，-223℃時1.489kJ/(kg·k)

氦氣是一種無色、無嗅、無味的惰性氣體，分子量4.00，在21.1℃和101.33kPa下氣體比重為0.138，沸點為-268.9℃，氣體密度0.165kg/m3(21.1℃、101.33kPa)。臨界溫度-267.9℃；臨界壓力227kPa；臨界密度69.64kg/m3；在沸點溫度和101.33kPa下液體密度。氦氣不可燃、無毒、微溶于水，是一種簡單的窒息劑，可以氣態(tài)或液態(tài)裝運。

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