光學微電子凈化工程一般包括:潔凈生產區(qū)潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)設備區(qū)(包括凈化空調系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)光學微電子凈化工程凈化原理氣流→初效空氣過濾器凈化→空調→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?!仫L百葉窗→初效空氣過濾器凈化重復以上過程,即可達到凈化目的。
深度解析過濾器的原理和技術特點,十萬級無塵凈化車間設備!為了滿足各種工業(yè)產品微細化、高精密度的要求,除了從潔凈室的布置、圍護和室內裝飾以及凈化空調系統(tǒng)的形式、氣流流型等方面采用可靠的技術措施外,關鍵技術措施之一便是選用符合要求的空氣過濾器(HEPA)、超空氣過濾器(ULPA)。隨著潔凈技術的發(fā)展,空氣過濾器無論是過濾材料、結構形式、密封材料、外框材質以及檢測方法變化發(fā)展很快,尤其是集成電路生產的日新月異,要求生產環(huán)境達到控制微粒直徑為0.05-0.1μm,空氣潔凈度等級要求1級甚至更為嚴格,并且還要控制生產環(huán)境中的分子級化學污染物、重金屬污染物等。
影響無塵凈化車間成本的幾大因素:空間因素有車間面積和車間層高兩個方面組成,它直接影響內部裝修圍護的成本:彩鋼板隔墻及天花面積;空調投入成本:所需空調負荷的區(qū)域體積、空調的送回風方式、空調的管路走向及空調末端的數量。除了空間、環(huán)境兩大塊要求之外,有些影響凈化車間達標的因素經常被設計方或者籌建商忽略,導致溫濕度超標。比如,外界氣候考慮不、未考慮設備排氣量、未考慮設備發(fā)熱量、未考慮設備產塵量、未考慮大量人員同時工作產濕量等等。