汽蝕毀壞除機械作用外，還隨同著電解、化學侵蝕等多種簡單的作用。理論毀壞動機表明，泵過流元件汽蝕毀壞的部位，正是氣泡失蹤的中央。真空泵須要用液體作為作業(yè)介質(zhì)。每種液體在某一熱度下都有對應的飽和蒸汽壓。當吸入海域的相對壓力越瀕臨液體的飽和蒸汽壓時，液體越瀕臨蒸發(fā)狀態(tài)。那時，在吸入海域的作業(yè)液名義會產(chǎn)生一大批的氣泡，因為液體在作業(yè)腔內(nèi)產(chǎn)生的作業(yè)液蒸汽會龍盤虎踞全體作業(yè)腔的空間，泵對外的吸氣威力會有所上升。

真空泵油的飽和蒸汽壓，飽和蒸汽壓是真空泵油較關(guān)鍵的指標之一。在恒溫的密閉容器中，當汽液兩相到達動態(tài)均衡時的壓力稱謂飽和蒸汽壓。油品的飽和蒸汽壓要盡量低，在泵的高工作溫度下，仍要具有足夠低的飽和蒸汽壓,并要低于真空泵規(guī)則的極限壓強。在60℃溫度條件下至少要到達6．5×10-5 kPa(因溫升每上升20℃，飽和蒸汽壓大約要下跌一個數(shù)量級)。

真空泵油的極限全壓力和極限分壓力，極限全壓力：由皮拉尼計或熱偶真空計測出真空泵一切物質(zhì)(氣體)產(chǎn)生壓強的總和。國外目前注重全壓強的測試指標。極限分壓力：用緊縮式真空計(麥氏計)測得的泵的極限空氣分壓力，雙級旋片泵分壓力應為≤6×10-5kPa。極限全壓力與極限分壓力差值請求不大于一個數(shù)量級。二者之間的差值越大，真空泵油中含有的揮發(fā)成分就越多，油品的性質(zhì)就越差。