離子束刻蝕機(jī)的特點(diǎn)

刻蝕過(guò)程是純物理濺射，可以刻蝕任何固體材料;平行離子束刻蝕，高各向異性;無(wú)鉆蝕;精度高，轟擊離子束刻蝕機(jī)，分辨率<0.01um.

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離子屬刻蝕機(jī)的注意事項(xiàng)

創(chuàng)世威納——**離子束刻蝕機(jī)供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息。

#.在設(shè)備工作時(shí)，禁止扶、靠設(shè)備，禁止觸摸高頻電纜和線(xiàn)圈，以免發(fā)生意外

#.高頻電源實(shí)際使用功率不能超過(guò)較大限制#.檢查設(shè)備時(shí)，必須關(guān)機(jī)后切斷電源

#. 工作場(chǎng)地必須保持清潔、干燥，設(shè)備上及設(shè)備周?chē)坏梅胖脽o(wú)關(guān)物品，特別是易1燃、易1爆物品

#.長(zhǎng)期停放時(shí)注意防潮，拆除電源進(jìn)線(xiàn)，每隔3-5天開(kāi)一次機(jī)，轟擊離子束刻蝕機(jī)生產(chǎn)廠(chǎng)家，保證反應(yīng)室真空以免被污 染

#.設(shè)備停機(jī)、過(guò)夜也要保持反應(yīng)室真空，如停機(jī)較長(zhǎng)時(shí)間后再進(jìn)行刻蝕工藝，轟擊離子束刻蝕機(jī)價(jià)格，需先進(jìn)行一次空載刻蝕，再刻蝕硅片

離子束刻蝕機(jī)

離子束刻蝕是通過(guò)物理濺射功能進(jìn)行加工的離子銑。國(guó)內(nèi)應(yīng)用廣泛的雙柵考夫曼刻蝕機(jī)通常由屏柵和加速柵組成離子光學(xué)系統(tǒng)，轟擊離子束刻蝕機(jī)哪家好，其工作臺(tái)可以方便地調(diào)整傾角，使碲鎘gong基片法線(xiàn)與離子束的入射方向成θ角，并繞自身的法線(xiàn)旋轉(zhuǎn)，如圖1所示。評(píng)價(jià)溝槽輪廓主要的參數(shù)有溝槽的開(kāi)口寬度We、溝槽的刻蝕深度H、臺(tái)面的坡度角φ和溝槽底部的寬度Wb。我們常用的深寬比（Aspectratio）是指槽深H和槽開(kāi)口寬度We的比值，本文中用R表示。深寬比是常用來(lái)作為衡量刻蝕工藝水平和刻蝕圖形好壞的評(píng)價(jià)參數(shù)。

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